近日，上海励兆科技宣布完成数千万元Pre-A轮融资，Monolith砺思资本、中芯聚源、临港科创投参与本轮投资。

励兆科技成立于2022年，是一家专注于半导体工艺设备领域的射频和等离子系统供应商。该公司首席科学家是上海交大副教授/博导，曾在美国顶级学府从事高频电力电子的研究；副总裁宋伟毕业于北航，是前爱思强中国区总经理。

据悉，励兆科技的主要产品是等离子射频电源及其配套系统和远程等离子源(RPS)系统，而这些产品的基本作用就是在相关半导体工艺设备中产生等离子体并达成相关各种工艺。

据悉，射频电源是产生等离子体的核心器件，高性能的大功率射频电源是国产化先进制程的必要设备。

Monolith砺思资本消息显示，励兆科技成立一年便开发出了13.56MHz系列和400KHz系列射频电源产品，部分关键性能参数已达到国际先进水平，比如功率可调精度在0.1瓦，脉冲频率从2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合独有MOFT调频功能 (模型导向的自动调频技术)，能实现亚毫秒量级的高速阻抗匹配，可以有效地满足多种工艺的需求，在国内率先为先进蚀刻和原子层沉积等工艺提供了可选方案。

在远程等离子源(RPS)领域，励兆科技正在开发一款可用于12寸晶圆去胶/氧化/清洁等工艺领域的产品，预计在年底可为关键客户送样测试。（校对/赵碧莹）