近日，上海励兆科技有限公司（以下简称“励兆科技”）上海临港工厂入驻仪式在临港蓝湾举行。

（来源：临港蓝湾）

励兆科技是一家半导体设备专用射频产品供应商，致力于为先进的半导体工艺设备开发生产射频电源，自动匹配器和远程等离子源等关键零部件并提供一站式射频解决方案。

据悉，作为临港集团“十四五”科创重点扶持项目，其自主研发的各类相关射频产品，技术指标已达到国际主流水平，致力于解决国内半导体设备核心零部件“卡脖子”问题。励兆科技临港产业化基地约4400平米，将建成覆盖射频电源、自动匹配器和RPS远程等离子源等射频产品的多条生产线，实现半导体设备核心射频零部件的全面量产。

在半导体射频电源领域，射频和等离子体系统是刻蚀等半导体设备的核心部件，具有较高的技术难度和壁垒，是我国“卡脖子”的核心部件。目前，国产射频系统严重依赖进口，国产化率仅1-5%，国产替代空间大。随着励兆科技研发团队发布多级脉冲射频电源产品，标志着励兆科技的技术达到了射频电源领域的第一梯队，可满足半导体设备核心零部件国产化的迫切需求。