专注于半导体设备关键零部件领域的综合性射频等离子系统供应商励兆科技近日传出喜讯，公司完成数千万元Pre-A++轮融资，并正式启用位于上海临港的新厂区，为其在半导体行业的发展增添了浓墨重彩的一笔。

本轮融资由金浦智能领投，临港科创投等投资方共同参与投资，强大的资本助力将进一步推动励兆科技在技术研发、产能扩张和市场拓展等方面的快速发展。

励兆科技的核心创业团队由多位半导体行业的青年科学家组成，专业领域涵盖射频电力电子技术、等离子体科学和半导体设备工艺等研究方向。其主要产品包括射频电源（RF Generator）、自动匹配器（Auto Matcher）、远程等离子源（Remote Plasma Source）、等离子体探测器（VI Sensor）以及相关的各种射频部件等。这些产品均已通过国内主要客户的验证，并逐步批量导入刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）、快速退火（RTP）和离子注入（Implant）等工艺的国产半导体设备中。

2024 年 11 月，励兆科技临港产业化基地入驻仪式在临港蓝湾隆重举行，临港管委会高科处、临港奉贤公司、上海交大临港智创公司、以及产业链上下游合作伙伴共同见证了这一重要时刻。临港工厂总面积约4400平米，其中包括了半导体级千级无尘车间、可靠性实验室以及配备多台HASS设备的老化车间，将建成覆盖射频电源、自动匹配器、远程等离子源等射频产品的多条生产线，以实现半导体设备核心射频零部件的全面量产，进一步加速国产化替代进程。

星光赶路，披荆斩棘，励兆团队志存高远，立足于自我创新，先后高效率高质量的开发验证成功定型了几十款半导体设备专用的射频产品。公司管理层表示，在下一步的战略规划中，励兆将和客户紧密合作，全面配合下一代先进半导体工艺，努力创新开发新一代射频产品，来尝试为实现有中国特色的先进半导体制造技术发展之路贡献励兆的力量，同步实现自身的产业理想与商业价值。

本轮领投方金浦智能总裁田华峰表示，金浦智能很荣幸能领投励兆科技本轮的融资。在基金基石投资人临港集团的鼎力支持下，金浦智能团队在励兆科技成立之初就积极整合资源为其赋能，并且很高兴看到在赵馗博士的带领下，短短两年时间内就建立起高素质的管理团队，形成了高壁垒的产品体系，并且其产品已经顺利进入国内多家设备龙头与晶圆制造大厂。

金浦智能项目负责人业务董事梁钊表示，射频电源是半导体设备的核心零部件之一。我们一直在寻找优秀的创业团队，以打破国内半导体高端射频产品严重依赖海外供应商的局面。励兆团队是国内少有的稳扎稳打的原创射频电源开发团队，在两年多时间已发展到近百人，开发了几十款射频产品，实现了多级脉冲、先进调频等技术在先进工艺刻蚀以及沉积设备上的使用，为国产半导体设备在先进工艺上的突破提供了强力支持。我们坚信励兆科技一定会为中国半导体产业做出更大贡献。