近日，北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）算法工程师赵瑞凡、研究生潘腾分别以第一作者在光学领域国际知名期刊《Optics Express》(JCR Q2, IF=3.2)发表论文，北理微电院谢会开教授和陈倩博士为论文的通讯作者。

论文一：Asynchronous equal optical path difference sampling method for MEMS-based Fourier transform spectrometers

该研究针对双光路MEMS近红外光谱仪在进行同步激光标定时产生的光电耦合问题，提出了一种干涉信号异步采集的方法。该方法基于电热MEMS微镜在连续的一段时间内扫描状态变化不影响光谱的假设，通过实验数据明确了在保证光谱重复度达标前提下的激光采集间隔时间，从源头避免了双光路MEMS近红外光谱仪光电耦合对光谱分析的影响，提高了光谱数据模型的预测准确度，同时也能达到降低功耗、降低硬件设计复杂度的效果。

论文二：Two-axis asymmetric electrothermal MEMS micromirror for decoupled resonant scanning

该研究设计并加工了一种新型非对称解耦微镜，通过构建微镜动力学模型，分析产生耦合的原因，提出频率分离解耦机制，仿真结果表明不同驱动臂长度可以有效分离微镜倾斜运动的谐振频率。对制造的电热微镜进行测试，在2 Vpp电压驱动下，成功投射出规则的光栅和李萨如扫描图案，帧率可达30 fps，光学视场21°×22°。测试结果表明解耦微镜实现了双轴谐振无耦合扫描，解决了电热MEMS微镜在谐振驱动时的交轴耦合问题，在光学内窥、激光雷达等需要高速高精度扫描成像领域具有重要应用潜力，同时为下一代MEMS微镜的优化设计提供了关键理论支撑。

北京理工大学重庆微电子研究院(以下简称“北理微电院”)位于西部(重庆)科学城西永微电子产业园核心区域，是由西永综合保税区和北京理工大学共同举办的新型高端研发机构，致力于构建中国数字经济产业感知基座，重点发展先进传感、超宽带通信和医工融合三大方向。截至目前，北理微电院拥有9000多平方米的办公与实验场地，并投入超1.5亿元建成了国内领先的6英寸MEMS微纳工艺研发线，超净面积达1100多平方米。