• 行业咨询
  • 品牌营销
  • 集微资讯
  • 知识产权
  • 集微职场
  • 集微投融资
  • 集微企业库
搜索
爱集微APP下载

扫码下载APP

爱集微APP扫码下载
集微logo
资讯集微报告舆情JiweiGPT企业洞察
2025第九届集微半导体大会集微视频
登录登录
bg_img
search_logo
大家都在搜

大连理工梁红伟团队在OVPE外延Ga2O3厚膜及缺陷形成机理研究方向取得新进展

作者: 集小微 04-27 16:35
相关舆情 AI解读 生成海报
来源:大连理工大学集成电路学院 #大连理工#
6418

近日,大连理工大学集成电路学院梁红伟教授课题组在OVPE外延Ga2O3厚膜及缺陷形成机理研究方向取得新进展,以OVPE外延方法在(010)面实现10μm以上Ga2O3厚膜,并通过分析Ga2O3外延成核机制构建了位错线形成的三维模型,解释了具有角度和指向性位错线的形成机制。相关研究成果以“The three dimensional model of extended defects

in β-Ga2O3 homoepitaxial film”为题发表于Applied Physics Letter并作为当期的Featured article。

目前,Ga2O3存在厚膜外延难度大、外延层中具有角度和指向性位错线的形成机制不明的问题。针对上述问题,梁红伟教授课题组首先通过采用Oxide vapor phase epitaxy

(OVPE)的方法在(010)面上实现10μm以上Ga2O3厚膜。相较于其他方法,OVPE方式具有生长速度快(≥10μm/h),成膜质量高并且设备成本低等优势。通过分析(010)面的外延形貌并构建缺陷形成的三维模型发现,从[100]方向观察到的与(001)平面成约60度角的位错线源于纳米管的 (100) 主面与准四面体区域的(11-1)平面之间的交线,具有1/2<1-12>、1/2<1-32>和<101>博格斯矢量方向的位错线是纳米空洞的(-201)和(101)短边面与(111)和(-111)面相交形成的。而锯齿形蚀刻坑的出现可以通过在各缺陷位置经过各向异性湿法蚀刻后暴露的两个侧面(111)或(1-11)面以及(100)面的中央核心来解释。

图1. (a)OVPE法外延Ga2O3厚膜AFM图;(b) Ga2O3厚膜SEM图

图2. 具有指向性位错线形成的三维模型图

大连理工大学集成电路学院博士生王紫石为论文第一作者,张赫之副教授为论文通讯作者,梁红伟教授和香港科技大学黄文海教授为论文合作者。

责编: 集小微
来源:大连理工大学集成电路学院 #大连理工#
分享至:
THE END
相关推荐
  • 大连理工大学团队:通过提高晶体质量增强 β-Ga₂O₃ 薄膜的光电突触可塑性

  • 大连理工大学首获人工智能领域国家自然科学基金重大项目

  • 和研科技-大连理工大学联合研发中心揭牌!

  • 大连理工杨一鸣教授课题组研究成果再度登上国际顶刊《ACS Nano》

  • 大连理工大学生物工程学院科研团队在昆虫表皮蛋白自组装机制及相关应用方面取得突破

  • 大连理工大学“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”专利公布

评论

文明上网理性发言,请遵守新闻评论服务协议

登录参与评论

0/1000

提交内容
    没有更多评论
集小微

微信:

邮箱:


4784文章总数
8035.7w总浏览量
最近发布
  • 胜宏科技定增申请获深交所审核通过 拟募资19.8亿元加码AI及海外布局

    1小时前

  • 寒武纪调整定增方案 募资39.85亿元加码大模型芯片与软件平台

    1小时前

  • 中微公司上半年营收49.61亿元 净利润最高同比增长41.28%

    17小时前

  • 黄仁勋:中国的开源AI是推动全球进步的催化剂

    18小时前

  • 黄仁勋:我嫉妒现在的年轻人,因为他们有AI陪伴一生

    19小时前

最新资讯
  • 年产1亿颗 江西兆驰集成光通芯片项目正式通线

    20分钟前

  • 开芯院采用芯华章P2E硬件验证平台加速RISC-V 验证

    22分钟前

  • 英特尔在俄勒冈州已裁员5400人,将继续裁员

    35分钟前

  • Meta挖走苹果两位人工智能专家

    45分钟前

  • 胜宏科技定增申请获深交所审核通过 拟募资19.8亿元加码AI及海外布局

    1小时前

  • 寒武纪调整定增方案 募资39.85亿元加码大模型芯片与软件平台

    1小时前

关闭
加载

PDF 加载中...

集微logo
网站首页 版权声明 集微招聘 联系我们 网站地图 关于我们 商务合作 rss订阅

联系电话:

0592-6892326

新闻投稿:

laoyaoba@gmail.com

商务合作:

chenhao@ijiwei.com

问题反馈:

1574400753 (QQ)

集微官方微信

官方微信

集微官方微博

官方微博

集微app

APP下载

Copyright 2007-2023©IJiWei.com™Inc.All rights reserved | 闽ICP备17032949号

闽公网安备 35020502000344号