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三星电子拟将低端光掩模生产外包 资源转向更先进工艺

作者: 张杰 05-14 14:19
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来源:爱集微 #三星电子# #光掩模#
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据报道,三星计划将用于制造内存芯片的光掩模生产外包。此前,为了防止技术泄露,这家芯片巨头使用的所有光掩模都是自行生产的。

三星目前正在评估生产低端光掩模(i-line、KrF)的潜在供应商,包括Tekscend Photomask和PKL。前者是日本凸版控股的子公司,后者则归美国掩模公司Photronics所有。评估仍在进行中,预计将于第三季度完成。

三星决定将光掩模生产外包的原因有很多。三星自己的i-line和Krf设备已经老化,但这些设备已停产,因此很难获得。

虽然过去人们担心技术泄露,但三星在技术上不再像以前那样占据明显优势。

因此,这家芯片巨头考虑外包低端光掩模,其技术风险可能较小。不过,消息人士称,目前三星自行生产这些光掩模仍然比外包更具成本效益。

光掩模是用于复制晶圆上的电路图案的关键部件。通过使用不同波长的光,可以绘制不同复杂度的电路图案。

该产品根据所用光的波长进行分类:i-line使用365nm波长来绘制简单的电路图案。Krf波长为 248nm,用于中等分辨率。ArF波长为193nm,用于绘制比KrF更先进的图案。EUV(极紫外光)波长为13.5nm,用于绘制最先进的图案。

消息人士称,三星计划通过外包,将自身用于i-line和Krf工艺的资源转移到更先进的ArF和EUV工艺上。

韩国光掩模市场规模约为7000亿韩元。韩国本土企业的总开工率超过90%。中国无晶圆厂的需求推动了这一增长。由于三星也将其光掩模生产外包,DB Hitek等其他代工厂可能面临光掩模供应困难。

责编: 李梅
来源:爱集微 #三星电子# #光掩模#
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