SEMICON CHINA 2026即将拉开序幕！
ASML今年仍将带着满满“干货”亮相现场
不仅邀您共同探索
ASML光刻机青春常驻的“冻龄”奥秘
还将带你近距离感受光源背后的硬核技术
2026年3月25日–3月27日
上海市新国际博览中心
N5馆·N5401与N5500展台
光刻探索之旅，让我们先睹为快！
Highlight 01
经典与重塑：
解锁光刻机的“长寿”密码
PAS 5500脱胎于飞利浦研究人员在20世纪70年代研制的一个系统，它的全称是飞利浦自动步进式光刻机（Philips Automatic Stepper, PAS）。
作为ASML“最长寿”的光刻系统，自1991年问世以来，PAS 5500在全球范围内的装机量已超过1,800台，足迹遍布工业、汽车、航天及学术领域。这些设备中有些已“服役”20余载，至今依然以其卓越的稳定性、高性价比和经过验证的良好性能发挥着重要作用。
除了这位功勋卓著的“老朋友”，在今年的展台中，您还将了解到ASML如何重新定义DUV光刻机的生命周期。
在芯片制造不断微缩的今天，DUV光刻机依然占据着重要地位。以汽车、功率器件、消费电子和传感器这些体量巨大的成熟市场为例，其大部分的晶圆成像仍高度依赖DUV光刻技术。
为此，ASML正在为针对成熟市场的光刻系统提供坚实的翻新技术支持，机型覆盖从PAS、AT和XT延展至NXT全系列。
同时，ASML不仅致力于DUV光刻机的翻新维护，更在延长其使用寿命方面不断拓展新的技术领域，为设备未来的发展贡献力量，为客户释放更大的价值与机会。一方面，ASML实施了智能解决方案，显著提升PAS系列光刻机在焦距（Focus）、套刻精度（Overlay）和3D对准（3D alignment）等方面的性能；另一方面，其基于自身在低成本解决方案方面的经验积累，利用零件维修策略取代单一的零件重新设计，为XT 1、2、3代机型延长寿命，让经典机型在面对日益激烈的市场竞争时依然充满生命力。
想进一步了解ASML光刻机“冻龄”的秘诀？
欢迎莅临N5馆·N5401
我们与您不见不散！
Highlight 02
硬核驱动：
与Cymer一起聊“科技与狠活”
在半导体制造迈向更高效率与更高精度的过程中，光刻光源始终扮演着关键角色。作为半导体行业激光与光刻光源技术的领先者，Cymer于2013年被ASML收购，进一步提升了ASML光刻系统的制造能力。
Cymer成立于1986年，历经40年的发展积淀，依托全球1,400余名员工、遍布11个国家和地区的办公室网络以及两大制造基地，持续为行业提供稳定可靠的光源支持。
深耕中国逾25载，Cymer团队始终与客户并肩同行，通过本地化支持与全球资源联动，为客户提供持续的技术创新与更优的服务支持。
展会期间，Cymer将用更直观、更易交流的方式呈现技术优势与现场价值，与行业伙伴、客户及同仁共同探讨制造与工艺演进中的关键议题。
欢迎莅临N5馆· N5500展位
Cymer期待与您现场相见！
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2026 SEMICON CHINA
我们与您沪上相约！
