2026年4月18日，芯源微发布关于公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告。
募集资金基本情况方面，2019年首次公开发行股票募集资金，总额5.66亿元，净额5.06亿元，2025年度对募集资金项目投入0元，2025年末余额606.38万元。2021年度向特定对象发行A股股票募集资金，总额9.99亿元，净额9.90亿元，2025年度对募集资金项目投入4167.42万元，主要用于高端晶圆处理设备产业化项目（二期），2025年末余额2.02亿元。
募集资金管理上，公司制定并修订相关制度，对2019年首发和2021年定增募集资金均采取专户存储管理，与银行和保荐机构签署监管协议，严格按规定存放和使用资金。
本年度募集资金实际使用情况，2019年首发募资无投入，2021年定增募资投入4167.42万元。本报告期内，公司不存在募投项目先期投入及置换、用闲置募集资金暂时补充流动资金、用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款、超募资金用于在建项目及新项目或回购股份并注销、节余募集资金使用等情况。2021年定增募资在2025年使用闲置募集资金现金管理收益163.66万元，年末无投资产品余额。
截至2025年末，公司募集资金投资项目未发生变更，使用及披露无违规情形。会计师事务所和保荐机构对公司2025年度募集资金存放与使用情况均给出肯定意见。
