2026年4月23日，华海清科发布前次募集资金使用情况的专项报告。
2022年6月1日，公司首次公开发行股票，募集资金净额348,990.53万元。公司制定《募集资金管理制度》，实行专户存储，截至2026年3月31日，募集资金余额为16,016.90万元，部分专户已注销。
截至2026年3月31日，募投项目累计使用资金116,235.43万元，其中2022 - 2026年1 - 3月分别使用55,962.17万元、30,966.55万元、17,256.70万元、10,379.48万元、1,670.53万元。募集资金利息收入扣除手续费净额为2,984.19万元，理财收益9,279.59万元。同时，222,979.51万元用于永久补充流动资金，6,022.45万元用于回购股份。
公司多次变更募投项目。2023年，使用节余募集资金、超募资金和自有资金向华海清科北京增资及借款，实施“华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目”，并多次使用超募资金永久补充流动资金。2026年2月，将该项目达到预定可使用状态的日期延长至2026年12月。
2022年7月，公司使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金19,987.86万元。公司多次审议通过使用超募资金及部分闲置募集资金进行现金管理的议案，截至2026年3月31日，累计使用753,000.00万元购买理财产品，赎回753,000.00万元，收益9,279.59万元。2025 - 2026年3月31日，使用募集资金6,022.45万元回购股份。
部分募投项目无法单独核算效益。如“高端半导体装备（化学机械抛光机）产业化项目”2023 - 2024年CMP装备销售收入可观，但后续因自有资金投入无法单独核算；“高端半导体装备研发项目”“集成电路高端装备研发及产业化项目”“补充流动资金”项目的效益反映在公司整体经济效益中；“晶圆再生项目”2023 - 2024年达预期产能，后续因产线扩张无法单独核算。截至2026年3月31日，公司未对募集资金使用效益做承诺，无累计实现收益低于承诺20%以上的情况，且不存在以资产认购股份的情况。
