第六代无线通信（6G）面向全息通信、触觉互联网和人体贴附式无线终端等以人为中心的应用，对通信终端的高速、低功耗、轻量化与柔性贴附能力提出了更高要求。工作频率在100 GHz以上的柔性射频器件是构建此类终端的重要基础。然而，柔性聚合物基底通常热导率较低，器件在高电流密度和高频工作时容易受到自热效应影响，进而限制射频性能和长期可靠性。因此，在柔性平台上同时实现高频、低功耗和有效热管理，是柔性射频晶体管领域面临的重要挑战。
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针对这一难题，北京大学电子学院胡又凡-彭练矛团队与斯坦福大学Eric Pop团队合作，充分利用定向排列碳纳米管阵列高载流能力、小本征电容和良好稳定性的优势，在柔性聚酰亚胺（PI）基底上构建了高性能射频晶体管。研究通过电学-热学协同设计，在沟道缩短、寄生电容降低和热传导路径增强之间进行综合优化，使柔性碳纳米管器件实现了超过100 GHz的射频性能。
柔性碳纳米管射频晶体管的器件结构和直流性能
柔性碳纳米管射频晶体管的电学-热学协同设计和射频性能
研究在2微米厚PI基底上制备了双指顶栅柔性射频晶体管，并将栅长缩短至75 nm、沟道长度缩短至120 nm。典型器件开态电流达到0.947 mA/μm，跨导达到0.728 mS/μm；实测电流增益截止频率fT最高达到152 GHz，功率增益截止频率fmax最高达到102 GHz，直流功耗低于200 mW/mm。针对柔性基底散热能力弱的问题，团队优化了源漏接触、栅极堆叠和界面热导等关键结构参数，增强通过源漏电极和栅极的散热通道，同时抑制寄生电容和栅极电阻对高频性能的影响。基于上述器件，团队进一步实现了工作在18 GHz（K波段）的柔性射频功率放大器，输出功率达到64 mW/mm，功率增益达到11 dB。器件在弯曲半径1.5 mm条件下释放后fT仅下降6.4%，在3 mm弯曲半径下经历1000次循环弯折后fT下降9.8%，显示出良好的机械柔性与稳定性。
该成果为定向排列碳纳米管阵列在柔性高频电子中的应用提供了重要实验基础，也为未来与柔性传感器、天线以及数字/模拟电路集成，构建面向6G应用的高速、低功耗柔性无线终端提供了新的技术路径。
以上相关成果以《工作频率超过100 GHz的柔性碳纳米管射频晶体管》（“Flexible radio-frequency carbon nanotube transistors operating at frequencies above 100 GHz”）为题，于2026年5月12日在线发表于《自然·电子》（Nature Electronics）。该项研究得到了国家重点研发计划、中国博士后科学基金、北京大学纳米器件加工平台等的支持。北京大学电子学院博雅博士后夏梵、北京大学前沿交叉学科研究院博士生夏天以及美国斯坦福大学博士生苏皓天为论文共同第一作者，北京大学电子学院胡又凡长聘副教授、彭练矛教授和斯坦福大学Eric Pop教授为论文共同通讯作者。
