瑞声科技发布DEPTRA超景深AI数码显微镜

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近日,瑞声科技旗下 DEPTRA 品牌首款自研超景深数码显微镜 ADM-100在CIOE中国光博会上首次公开亮相。该产品实现光学硬件、智能算法、操控系统全链路自主研发,集高清成像、AI 智能检测、2D/3D 精准测量于一体,直击半导体、新能源、3C电子、材料科研等行业测景深不足、人工筛查效率低、高反光工件观测难等微观质检痛点,为高端微观检测领域提供自主可控的全新解决方案。

核心光学性能方面,ADM-100 覆盖 18X~9000X 超高倍率区间,搭载高 NA 复消色差物镜与全系远心光路,可从根源消除透视畸变,配合1241万像素 CMOS 传感器实现 4K 超高清成像输出。依托全倍率齐焦设计,倍率切换过程中被测样品可始终保持合焦状态,省去反复调焦的繁琐操作;针对高低落差较大的三维工件,设备通过深度合成算法自动生成全幅清晰图像,解决了传统显微镜景深不足、大落差样品无法完整成像的普遍问题。

智能化是该产品的核心亮点。ADM-100内置全自研AI视觉模块,仅通过少量标准样本完成本地训练后,即可实现批量缺陷自动识别与统计、PCB 板同类特征秒级定位、几何尺寸批量测量等功能,大幅降低人工目视筛查的人力成本与经验门槛,提升检测效率与结果一致性。设备同时配备 0.1μm 级高精度电动载物台,支持大视野样品的像素级无缝图像拼接;搭配四分区可调照明系统,通过智能去反光算法与 HDR 高动态成像技术,清晰还原芯片引脚、金属焊点等高反光工件的表面细节。

测量能力上,ADM-100 兼具 2D 与 3D 全维测量功能,覆盖 14 种基础 2D 测量工具与 13 种 3D 测量模块,集成清洁度检测、粗糙度分析等专业分析功能,支持跨视野大跨度尺寸检测。

该设备可广泛适配半导体晶圆检测、3C 零部件质检、新能源材料分析、精密制造产线筛查等工业场景,同时可支撑纳米科技、物证鉴定、高校科研等研究领域的高精度观测需求。

展会现场设置的真机体验区吸引了大量专业观众驻足。现场负责人表示,ADM-100 核心性能对标国际一线同类产品,同时具备交付周期短、定制化灵活、售后响应快、综合成本更优的本土化优势,将助力国内制造企业与科研机构实现高端检测设备自主可控,推动产业检测能力升级。

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