近日，江苏省生产力促进中心正式发布2023年江苏独角兽企业暨高新区瞪羚企业名单，天芯微凭借技术产品的突破和创新，以及过去一年快速推动产品产业化应用的成绩，入选省“潜在独角兽企业”榜单。

江苏潜在独角兽企业名单（部分）

自成立以来，天芯微立足于技术自主和正向研发，以半导体制造链中单体价值量较高的外延工艺装备为切入点，组建资深研发团队。通过2年时间的潜心研制，成功推出首款产品Epi RP 300 Compass HP减压外延设备，其具备先进的红外加热控制技术和加热模块设计，可实现温度的快速升降和温度场的精确控制，使系统具备优异的工艺重复性和设备稳定性，从而获得良好的厚度均匀性、电阻率均匀性，零滑移线和低缺陷密度的外延层生长。Epi RP 300 Compass HP主要应用于逻辑芯片代工、功率器件等领域，可满足工艺均匀性控制、低晶体缺陷、低掺杂和颗粒密度可控性强的要求，其各项产品性能都达到国际先进水平，部分核心性能已超过国际同类产品。

另一方面，天芯微也在积极拓展自主半导体装备的产业化推广和应用。目前，天芯微已经与数家国内知名晶圆代工厂形成合作关系。2022年8月，天芯微首台先进制程硅基外延减压设备Epi RP 300 Compass HP成功首发，进入国内领先的晶圆代工厂，这标志着公司正式从产品化到产业化应用转身。2023年10月，天芯微与国内第三大晶圆代工企业晶合集成达成战略合作关系，进一步推动外延等高端前道设备及工艺的合作。

本次入选江苏省潜在独角兽企业名单，是对天芯微自主创新能力以及市场拓展实力的认可。未来，公司将会持续加大投入对自主可控半导体高端前道装备的研发与推广，为客户提供优质的产品与服务。