天芯微是国内少数真正通过完全自主设计、研发、制造硅基外延设备的企业之一，本次展会中，旗下减压外延设备Epi RP 300 Compass HP受到产业链上下游的关注。该设备针对28纳米及以下先进工艺制程的外延需求，应用于逻辑芯片、功率及存储器件的外延工艺，适用于硅、硅锗、硅磷等外延生长材料。目前已经获得多家12寸FAB厂的青睐，整体性能媲美国际主流产品，并在部分核心参数上领先。

天芯微Epi RP 300 Compass HP

作为天芯微Compass HP平台的第二款产品，硅基常压外延设备Epi ATM 300 Compass HP也迎来了展会首秀。该设备继承了Compass HP平台灵活调配生产配置的特性，凭借天芯微自研的压控FRC技术及独立多区进气模组，带来了更高效的沉积速率和更可观的膜厚及均一性。Epi ATM 300 Compass HP是适用于大硅片、功率器件和MEMS加工外延工艺的创新解决方案。

天芯微Epi RP 300 Compass HP

致力于半导体高端前道设备的设计与制造，天芯微围绕“国产化”不断加强供应链的建设管理。此次SEMICON CHINA，天芯微邀请了诸多海内外零部件供应商伙伴交流探讨，携手建立可持续，共发展的供应商体系，持续推动中国半导体设备的发展和升级。