据海望资本消息，近日，睿励科学仪器（上海）有限公司（简称“睿励科学仪器”）于近日宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

据悉，睿励科学仪器成立于2015年，致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片工艺检测设备。其产品已实现产业化，在集成电路芯片制造、LED、OLED、光通讯等领域都有广泛应用。作为工艺检测设备的领军企业，睿励科学仪器自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，帮助生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了客户的认可和好评。

睿励科学仪器创始人吕彤欣曾是全球第一大量检测设备企业的研发科学家，拥有丰富的行业经验和技术积累。在他的带领下，睿励科学仪器汇聚了一支来自国际巨头和国内光学技术类公司的专业技术团队，致力于开发具有自主知识产权和核心技术的光学量检测设备。

海望资本消息指出，自2019年起，睿励科学仪器迎来了新一轮快速发展。其前道工艺光学量检测设备领域产品线布局处于国产厂商领先地位，尤其是在膜厚及OCD、缺陷检测系列设备领域。迄今为止，睿励科学仪器仍是唯一进入三星半导体产线的国产设备厂商，也是唯一为半导体芯片制造良率控制、提供批量有图形光学缺陷检测设备的国产设备企业。

在半导体检测量测设备领域，全球主要企业包括KLA、应用材料、日立等，其中KLA市占率过半，为行业领导者。睿励科学仪器在获得浦东科创集团和中微半导体等投资后，凭借其在集成电路工艺检测设备领域的卓越表现，被业界广泛赞誉为中国的“KLA”。

此外，作为国内少数成规模的前道量检测设备企业之一，睿励科学仪器分别于2009年和2011年承接两项国家科技重大专项，又相继承担了上海市首批战略新兴产业项目和上海市第十三批战略新兴产业重大项目。在完成2009年专项的同时，2013年，睿励科学仪器成功实现国内首台300mm椭偏膜厚设备交付。