2024年11月15日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）拟“向不特定对象发行可转换公司债券募集资金项目”申请获上海证券交易所受理。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

在半导体领域内，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，是国内首批成功开发高温硬掩膜化学气相沉积设备并获得批量订单的国产设备厂商，也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。目前微导纳米已与国内多家厂商建立了深度合作关系，相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示（硅基OLED等）、先进封装等诸多细分应用领域，多项设备关键指标达到先进水平，能够满足国内客户当前技术的需求。在光伏领域内，微导纳米作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时，微导纳米跟随下游厂商的量产节奏，持续优化XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术，引领光伏行业技术迭代。

拟募资11.7亿元，用于智能化工厂建设及实验室扩建

本次向不特定对象发行可转债拟募集资金总额不超过117,000万元，扣除发行费用后，将全部投资于以下项目：

微导纳米表示，“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目”拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为67,000万元，拟使用本次募集资金金额为64,280万元。项目拟计划建设先进的生产车间，购置先进生产设备和量测设备，提升公司薄膜沉积设备的生产能力。

“研发实验室扩建项目”拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为43,000万元，拟使用本次募集资金金额为22,720万元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。

公司拟使用本次向不特定对象发行可转换公司债券募集资金中的30,000万元用于补充公司流动资金。近年来，公司业务保持快速发展，收入和资产规模稳步提升。随着业务规模的迅速扩大，公司仅依靠内部经营积累和间接融资较难满足业务持续快速扩张对营运资金的需求。本次公司拟将募集资金中的30,000万元用于补充流动资金，符合公司所处行业发展现状及公司业务发展需求。募集资金到位后，公司营运资金需求将得到有效满足，资产结构更加稳健，可进一步提升公司的整体抗风险能力，保障公司持续稳定发展，具备必要性和合理性。

（校对/黄仁贵）