据珠海高新区消息，2月10日，珠海至微半导体零部件清洗项目正式动工。标志着上海至纯科技在华南地区的战略布局迈出重要一步，将进一步推动半导体零部件清洗服务的升级与发展，为华南地区半导体产业集群发展带来新的活力与机遇。该项目建成后，可为珠三角半导体晶圆厂提供关键制程设备的零部件精密清洗和翻修服务，进一步完善珠海集成电路的产业链与产业生态。

（来源：珠海高新区）

2024年9月23日，至纯科技半导体零部件清洗项目签约落户珠海高新区，该项目由珠海高新区和横琴粤澳深度合作区联动协作引进，在珠海高新区建设规模化的半导体清洗工厂。该项目厂房总面积4200平方米，配置10级无尘车间，含4条独立制程清洗产线和表面处理产线，年清洗产能36万件，主要为半导体晶圆厂提供关键制程设备的零部件精密清洗和翻修服务，为设备零部件延长使用寿命，降低工厂运营成本。项目建成后可为珠三角半导体晶圆厂提供“2小时配套圈”服务。

珠海至微半导体科技有限公司是A股上市公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”）的子公司，至纯科技主要从事半导体制程和厂务设备研发、生产以及半导体零部件清洗服务，年营收约人民币40亿元。

据了解，作为珠海集成电路产业发展的主阵地，2024年，珠海高新区半导体与集成电路产业经济规模实现106亿元，同比增长22%。现有企业总数97家，占全市总数近70%。