2月11日,矽视科技官宣完成A轮数亿元融资。此轮融资由俱成投资、毅达资本、国发创投、相城金控等机构联合投资,老股东持续追加投资。本次融资完成后,将扩充团队,扩充技术开发人员规模,提升工程化和规模制造能力;同时,也将系统提升市场营销能力以及内部运营管理能力。
矽视科技成立于2021年,专注于电子束量检测技术在前道晶圆量检测方面的应用。
该公司创立之后快速推出12寸CDSEM产品平台,并且构建模块化软硬件平台,向下兼容8寸平台,同时2023年也开始构建6/8兼容平台。目前,该公司已经有多台8寸设备送客户端上线测试验证,其中有设备已经开始在量产线投产使用;12寸设备平台也正已迭代升级完成并进行内测中,近期会送客户端验证并逐步实现量产交付;EBI产品平台也已经搭建完成,正在做最后的优化工作,预计近期也会推出产品并送国内头部Fab测试验证;同时,该公司的DRSEM和高能系列产品也在按照计划稳步推进中。
据悉,电子束量检测设备是前道工艺核心设备,占半导体设备投资占比3%,占量检测设备7.8%。电子束量检测设备主要分为测量线宽的CDSEM,进行复检的DRSEM以及进行缺陷检测的EBI设备三种类型。其中,CDSEM用量最大,EBI技术难度最高,单价最贵。从金额维度统计,三种设备基本各占市场的1/3。矽视科技指出,其团队拥有EBI的开发和应用背景,有过两次成功落地EBI产品的经验。该公司从12寸CDSEM产品开始创业之路,主要有两个因素:一是核心团队掌握最复杂的电子束成像技术及整机设计能力,二是CDSEM在国内短期内有极强的需求。
据悉,矽视科技核心技术团队涵盖了从电子光学、运动控制、控制软件和算法领域的资深人士。该团队曾在全球头部企业实现电子束产品在该领域的顶尖应用,并取得巨大成就。其核心团队成员也是该领域国家02专项的核心力量和带头人,已经实现该产品在国内的成果落地和国产化的量产应用。