据上海临港消息，2月24日下午，临港新片区管委会与超微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）签署战略合作协议。

超微公司主要从事电子束及光学量检测设备的研发与产业化，拟投资10亿元在临港建设电子束和光学量检测设备研发和制造基地项目，聚焦集成电路重大设备技术开发与产品市场化，并探索人工智能在图像处理、设备智能化方面的应用。

天眼查显示，超微半导体设备（上海）有限公司注册成立于2024年11月22日，法定代表人为尹志尧，其控股股东为中微半导体设备（上海）股份有限公司（持股60%）。

2月18日，中微半导体设备（上海）股份有限公司与成都高新区签订投资合作协议，该企业将在成都高新区设立全资子公司并建设研发及生产基地暨西南总部项目。该项目总投资额约30.5亿元，注册资本1亿元，并计划购地50余亩，用于建设研发中心、生产制造基地、办公用房及附属配套设施，以满足量产需求。项目拟于2025年启动建设，2027年正式投入生产。

中微公司成立于2004年，是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。该公司是国内高端芯片设备龙头企业之一，凭借出色的创新能力与持续的技术进步能力，中微公司四次荣登福布斯中国创新力企业50强榜单。2024年，公司研发投入预计24.5亿元，研发投入同比增长94.1%。截至2024年9月，该公司已申请2744项专利，已获授权专利1716项。

自2019年临港新片区成立以来，经过五年的发展，临港集成电路产业已经成为新片区投资规模最大、集群效应最强、产业链布局最完善的核心产业，目前已集聚了300多家在国内外有影响力的集成电路企业。