据宁波前湾新区发布消息,3月19日上午,宁波冠石半导体光掩模版制造项目举行新品发布暨通线活动。
(来源:宁波前湾新区发布)
宁波冠石半导体是一家专业从事半导体光掩模版制造的企业。宁波冠石光掩模版制造项目2023年5月16日签约,同年10月1日落地开工,2024年1月27日落成结顶,如今项目通线投产,用时不到两年,完成固定资产投资超10亿元,亩均有效投资强度超1500万元。
2024年7月消息,宁波冠石半导体有限公司迎来关键节点,该企业引入首台电子束掩模版光刻机。据悉,该设备是光掩模版40纳米技术节点量产及28纳米技术节点研发的重点设备。
据悉,光掩模版是微电子制造中光刻工艺所使用的图形转移工具或母版,其功能类似于相机的“底片”。作为半导体产业链上游重要的原材料之一,光掩模版是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体。目前,我国高精度半导体光掩模版产品主要仍依赖于进口,国产化率极低。
目前,宁波冠石已实现55nm光掩模版产品交付及40nm产线通线,该企业产品将广泛应用于人工智能、高性能计算、新能源汽车、消费电子等集成电路制造领域。