在全球半导体产业竞争白热化的当下,关键材料与核心设备的自主可控已成为国家战略的重要一环。作为国内领先的高端12英寸集成电路离子注入机制造商,万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)在SEMICON China 2025上展示了其全系列创新产品及解决方案,彰显了国产半导体装备的硬实力。与此同时,万业企业控股股东先导科技集团,凭借其在稀散金属领域的深厚积累和全产业链布局,为凯世通的发展提供了强有力的支持。
先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会先生受邀出席大会开幕式,共话凯世通聚焦高端半导体装备离子注入机的技术创新与万业企业、先导科技集团双向赋能的发展战略。
外延并购+产业整合 深度布局半导体设备
万业企业通过“外延并购+产业整合”的战略,深度布局半导体设备和零部件领域,旗下凯世通在国内集成电路离子注入机市场地位举足轻重。而先导科技集团,作为全球稀散金属领域的领军者,在半导体材料领域技术沉淀深厚,上下游产业资源丰富,构建了从高端材料到终端装备的全产业链生态闭环。二者的携手,为国产半导体产业发展注入了强大动力。
在半导体制造过程中,离子注入机堪称 “精准掺杂利器”,但因其技术复杂、验证周期漫长,长期被国外巨头垄断,国产化率不足5%。凯世通自成立以来,便专注于离子注入机的研发与生产。近年来,公司不断攻坚克难,加大技术创新,设备性能对标国外进口主流设备,获得了晶圆厂客户的广泛认可。这一成果的背后,是凯世通大量高强度的工作以及对技术研发的执着投入。
离子注入机产业化领跑,彰显国产半导体装备硬实力
在产品创新上,凯世通持续发力。基于“通用平台+关键技术模块”的产品开发模式,公司开发出系列离子注入机,其中面向超低温应用的离子注入机实现了-100℃超低温离子注入工艺应用并量产,打破了海外企业的技术垄断;面向CIS特殊工艺需求的离子注入机,更是填补了国内空白,并已在客户端完成验证验收。同时,针对各式新工艺应用的离子注入机也在稳步开发中。
在服务方面,凯世通同样不遗余力。考虑到离子注入机的复杂性,公司在主要客户端工厂附近设立售后服务中心,还为重点客户打造了验证测试和培训的洁净室,增强客户服务水平。目前,凯世通售后团队规模已超百人,不仅有熟悉设备的工程技术人员,还引进了众多拥有10年以上离子注入机管理应用经验的资深专家。凭借专业的服务,凯世通赢得了客户的高度认可。
在技术路线方面,凯世通坚持正向开发,基于第一性原理深入研究技术机理,从而能够快速响应并解决各种技术难题,满足客户不断升级的需求。
在市场策略上,凯世通从服务国内头部12英寸企业起步,凭借完善的技术体系,迅速推出满足客户高端需求的产品,如低能大束流离子注入机、高能离子注入机、超低温离子注入机和面向CIS的离子注入机等系列设备,成功解决了客户的“卡脖子”难题,赢得了客户的信赖。这种“高举高打”的策略,也帮助凯世通更快开发多样化产品,更快突破其他细分市场。
据了解,自2020年首台订单突破以来,凯世通累计收获12英寸集成电路离子注入机设备订单近60台,订单总金额超14亿,其中50%以上为重复订单,完成产线交付超40台并实现量产,服务了十余家重点芯片制造企业。
稀缺材料+核心设备强强联手
朱世会在采访中分享了集团的发展历程与战略规划。先导科技起源于稀散金属领域,经过多年发展,已成为一家业务广泛的国家级高新技术企业集团。集团旗下半导体事业部专注于集成电路关键材料和核心零部件等领域,致力于成为一至四代半导体材料及应用器件的引领者。
朱世会表示,离子注入机作为前道工艺的核心设备,技术难度仅次于光刻机,凯世通将从“设备+应用”同时发力,加快关键技术提升,推动产品多样化,同时加强客户应用研究,与客户合作开发,推动离子注入机技术创新应用,同客户一起成长。先导科技集团将基于在材料科技、关键零部件等领域的能力优势,积极赋能凯世通,助力国产离子注入机做大做强。
在谈到双方的协同效应时,朱世会指出,先导科技与万业企业在产业和业务等方面协同互补。在产业上,先导科技的稀散金属资源及电子材料、器件资源,可应用于集成电路装备领域,推动万业企业的半导体产业转型;在业务上,双方在半导体业务版图中互为上下游,产品和客户领域重叠,合作能够实现资源共享,提升市场竞争力。
未来空间巨大 助力万业实现转型
对于未来半导体产业的发展,朱世会充满信心。他认为,中国集成电路产业虽然目前面临诸多挑战,但未来发展空间巨大。在高端支撑领域和成熟制程领域,中国都有很大的发展潜力,有望实现快速突破。先导科技集团将继续专注于集成电路领域,通过提升技术、完善供应链、加强与客户合作等方式,助力中国半导体产业实现国产替代。
在半导体产业发展中,新材料的重要性不言而喻。尽管新材料的应用在某些领域可能还需时日,但在设备零部件国产化进程中,材料的制约作用十分明显。以静电吸盘为例,其关键材料长期被国外企业垄断,严重限制了国内相关产业的发展。而先导科技凭借自身的技术积累,有望在这些关键材料领域取得突破,为国产半导体设备的发展提供支撑。
朱世会谈到了万业企业的铋业务。铋金属作为先导科技的重要产品,在万业企业的转型中扮演着关键角色。朱世会认为,万业企业将通过铋金属的深加工业务,助力公司实现从房地产向高科技产业集团的转型。
万业企业与先导科技集团的合作,为国产半导体产业的发展带来了新的希望。在全球半导体产业竞争的浪潮中,它们凭借技术创新、协同发展的优势,正稳步迈向自主可控的发展道路,为我国半导体产业的崛起贡献着重要力量,值得行业内外持续关注。
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