6月30日，北交所正式受理了中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称：中科仪）IPO申请。

中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

干式真空泵领域，中科仪的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断：干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、华润微、上海积塔、广州粤芯等国内主流晶圆制造企业，以及北方华创、拓荆科技、客户A等国内主流半导体设备厂，并 已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

中科仪是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全。真空科学仪器设备领域，公司先后承担北 京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海光源主要参与者，于2013年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用MBE设备研制领域居于国内领先地位。

2022-2024年，中科仪实现营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元；对应的净利润分别为4.98亿元、6亿元、1.93亿元。

此次IPO，中科仪拟募资8.52亿元，投建于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。

其中，干式真空泵产业化建设项目通过新建厂房、购置高端生产设备、装配智能化产线，提升公司干式真空泵的生产能力，形成年产20,040台干式真空泵的生产能力；装配产线方面，将实现物流移动50%自动化，即自动保管、自动输入、自动输出及智能化，并逐步实现智能化；加工产线 方面，将采取H-MC卧式加工方式并通过FMS方式实现自动等待以及根据日程安排自动加工，将实现90%以上的自动化及智能化；市场方面，利用前期积累的客户和不断导入的客户资源，积极配合客户的工艺测试，满足客户的生产需求，实现业绩快速增长。

而高端半导体设备扩产项目所生产的H系列干式真空泵是集成电路设备中的重要配套设备之一，广泛用于刻蚀、PVD、CVD等集成电路制造部分工艺中，也可应用于包括太阳能光伏行业在内的泛半导体领域。同时，本项目也将扩产少量涡旋泵，主要用于科研、工业、医药等领域。

此外，新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。项目完成后将丰富公司产品体系、增强产品优势，同时进一步拓展干泵产品的应用范围，拓宽市场发展空间。此外，本项目还将建设数字化管理平台，从而对产品研发以及日后的相关业务进行一体化管理，为业务发展提供可靠支撑。