【IC风云榜候选企业124】果纳半导体实现EFEM自主化,以硬核创新引领晶圆传输设备国产化浪潮

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【编者按】自2020年举办以来,IC风云榜已成为半导体行业的年度盛事。今年进一步扩容升级,共设立三大类73项重磅大奖,覆盖投资、上市公司、市场、AI、具身智能、职场、知识产权、汽车、海外市场九大核心领域,全方位挖掘半导体产业各赛道的标杆力量。评委会由超过100家半导体投资联盟会员单位及500+行业CEO组成。获奖名单将于2026半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼上揭晓。

【候选企业】上海果纳半导体技术有限公司 (简称:果纳半导体)

【候选奖项】年度市场突破奖

【候选产品】晶圆前端传输模块(EFEM)

在全球半导体产业自主化、本土化进程不断加速的大背景下,半导体核心设备及零部件的国产替代已成为关乎产业链安全与发展的关键命题。其中,晶圆传输系统作为贯穿半导体制造前道与后道工艺的“血脉”,其技术高度与可靠性直接影响整线效率与芯片良率,是设备八大核心子系统中的关键一环。在这一尖端细分领域,一家成立仅数年却已崭露头角的中国科技企业正凭借其卓越的自主创新能力与扎实的产品实力,迅速成长为国内集成电路传输设备领域的领军力量——这便是果纳半导体。

果纳半导体自2020年成立以来,便始终专注于晶圆传输设备整机模块及关键零部件的研发与生产。作为国家级专精特新“小巨人”企业、高新技术企业及上海市专利工作试点示范单位,果纳半导体汇聚了400名员工,其中研发人员达100名,厚植了强大的创新基因。该公司产品线全面覆盖晶圆前端传输模块(EFEM)、晶圆分选机(SORTER)、晶圆存储系统(STOCKER)、自动物料搬运系统(AMHS)及传输领域关键零部件,并通过自主研发,在多项核心关键技术上实现突破,成功填补了国内空白,确立了行业领先地位。

此次,果纳半导体凭借其在核心产品——晶圆前端传输模块(EFEM)上的重大创新与市场成就,竞逐“IC风云榜”年度市场突破奖,并成为候选企业。 该奖项旨在表彰在当年度实现单款产品高销售收入或销量取得突出性高增长,并在细分领域市场占有率领先、产品应用广泛的企业,含金量极高,是对企业市场竞争力与产品价值的最佳认可。

EFEM作为集成电路工艺设备与检测设备的必备核心模块,通常指高洁净等级的微环境整机模块,用来建造超洁净等级的晶圆存储环境,并将单片晶圆通过精密机械手高频、高效、无损地传输至工艺、检测模块,技术壁垒极高。果纳半导体攻坚克难,其已研发量产的EFEM设备,成功攻克了双臂机械手式机器人设计、多轴复合运动精准取放片、优化内部气流导向结构等多项核心技术。果纳半导体围绕该产品布局了严密的自主知识产权体系,取得了包括晶圆状态检测、缓存机构、传输装置、翻转机构及自适应传输方法等在内的100余项发明专利。尤为值得一提的是,其核心零部件如机械手(ROBOT)、装载系统(LOADPORT)、对准系统(Aligner)均已实现自研,自主开发的多款EFEM机型不仅填补了国内空白,更能灵活满足客户的高端定制化需求。

在产品性能方面,果纳EFEM多项指标业内领先其主要特点如下:高效稳定传输:该产品采用固定式多关节单臂双叉型机器人,具备更高稳定性、更优传片效率,并能长期维持高洁净度要求;极致洁净环境:该产品内部气流导向结构设计优异,确保微环境洁净度满足严苛的ISO Class 1级别标准;广泛兼容适配:该产品可兼容所有符合SEMI标准的FOUP、FOSB、OCS及金属料盒,适配性强;灵活客制配置:该产品支持按需定制晶圆承载台数量与安装位置(框架前/背面),并提供晶圆读码、翻转机构、化学过滤器等多种可选功能。
在市场表现力方面,果纳半导体的EFEM产品为该领域带来了显著突破。目前,果纳半导体的EFEM产品已成功与国内80%的主要半导体设备厂商及晶圆厂形成配套合作。这一成果彻底打破了该领域长期严重依赖进口、采购受制的被动局面,实现了国产半导体设备在EFEM这一核心模块上的重大自主化突破,有力推进了半导体设备核心零部件的国产化进程,为保障我国半导体产业链安全与韧性做出了实质性贡献。

在知识产权保护方面,该产品目前已累计获得43项I类知识产权授权及23项II类知识产权授权,构筑了技术护城河,也为后续的创新与研发工作提供保障。

果纳半导体正以坚实的步伐,在中国半导体设备自主化的宏伟蓝图上,刻下属于自己的深刻印记。

【奖项申报入口】

2026半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼将于2025年12月在上海举办,奖项申报已启动,目前征集与候选企业/机构报道正在进行,欢迎报名参与,共赴行业盛宴!

【年度市场突破奖】

旨在表彰2025年度实现单款产品高销售收入或销量收入突出性高增长,在细分领域市场占有率处于领先地位,产品应用市场广泛的企业。

【报名条件】

1、深耕半导体某一细分领域,2025年企业总体营收超过1亿元人民币,或实现20%以上的增长;
2、产品具备较强市场竞争力,在细分领域占据领先的市场份额,具有完全自主知识产权。

【评选标准】

1、技术或产品的主要性能和指标30%;
2、产品的销量及市场占有率40%;
3、企业营收情况30%。


责编: 刘洋
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