2026年3月24日，路维光电发布关于向特定对象发行股票申请文件的审核问询函的回复。
本次向特定对象发行股票募集资金总额不超13.8亿元，用于厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地项目（一期）及补充流动资金。公司资金缺口为139,577.74万元，综合考虑现有货币资金用途、未来经营性净现金流入、最低现金保有量、投资需求和现金分红等因素，本次融资规模合理且必要。
从债务结构看，公司资产负债率呈上升趋势，若募投项目资金全靠银行借款，资产负债率将大幅上升，因此本次募资实施募投项目很有必要。且公司本次发行融资比例低于同行业可比公司清溢光电，有助于优化资本结构。
行业方面，掩膜版行业向高精度、多层化、大尺寸、国产化、应用多样化方向发展，市场规模持续增长。公司主要产品市场需求旺盛，产销率接近100%，毛利率稳定。公司业绩增长主要因下游客户需求旺盛，虽部分产品供应比例低，但未来业绩增长具可持续性。
截至2025年9月30日，公司不存在金额较大的财务性投资，本次发行董事会决议日前六个月内也无新投入和拟投入的财务性投资。前次募投项目“半导体及高精度平板显示掩膜版扩产项目”尚在建设期，未完全投产，最近五年内前次募投项目未变更，IPO募投项目非资本性支出占比35.50%，发行人已调整可转债融资规模；截至2026年2月末，可转债募投项目非资本性支出占比11.56%。
