官方解答①|ViP 工艺篇:光刻做像素,是怎么实现的?

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工艺篇

ViP 是维信诺自主研发的无金属掩模版RGB自对位像素化技术,它通过光刻图形化方式定义OLED像素结构,彻底摆脱了FMM(精细金属掩模版)的物理束缚。

此前,大家更多从亮度、功耗、寿命、PPI等性能层面认识ViP。(点击回顾一文读懂ViP AMOLED产品特点)随着 ViP 技术逐步进入行业视野,外界的讨论也延伸到了制造端:光刻做像素到底是怎么实现的?需要用半导体级的曝光机吗?ViP还需要蒸镀吗?是否需要全新的材料体系……

这一次,我们从制造端切入,推出 【ViP 官方解答】系列内容,从工艺、设备、材料等维度,解答 ViP 背后的制造逻辑。

第一篇,我们先从工艺说起 —— 光刻做像素是怎么实现的?

Q1 ViP到底改变了什么?

在目前的OLED制造中,FMM是一张布满微孔的金属掩模版,发光材料通过加热升华,穿过掩模版开孔被蒸镀到基板上形成像素。这套路线在中小尺寸OLED显示技术领域已非常成熟,但随着OLED走向更高PPI、更大尺寸和更多创新形态,FMM工艺在掩模版的开孔精度、蒸镀过程中的对位控制、张网和蒸镀过程中的金属形变、蒸镀膜层的均匀性等方面的瓶颈越来越突出。

ViP则换了一条路。该技术通过光刻图形化定义像素,彻底摆脱了对FMM的依赖,让每一个子像素都可以独立设计、独立调节,是对OLED像素制备的底层重构。

Q2 ViP是怎么制备像素的?

ViP技术在TFT控制背板部分可以沿用AMOLED现有技术和工艺,在阳极制备完成后,从像素定义层(PDL)开始逐步差异化,形成ViP AMOLED特有的隔离柱结构,随后进入“整面蒸镀+光刻图形化”的像素制备环节。

首先进行整面蒸镀,完成第一个颜色全套OLED发光层和功能层的沉积,之后进行整面薄膜封装(第一无机层),再通过涂胶、曝光、显影、刻蚀、剥离等工艺,选择性地除去基板上不需要保留的部分(这是消除精细金属掩模版的关键步骤),以此完成第一个颜色的图形化;随后将上述过程再重复两次,完成RGB三个子像素的全彩图形化。

Q3  ViP制造扩展能力体现在哪?

ViP 不只是单一工艺,更是一个可延展的技术平台,能在制程源头灵活叠加各类子技术,形成 “ViP+”的倍增效应:

  • 叠加Tandem 叠层技术,无需更换掩模版、无需重复对位,只需增加蒸镀腔室数量,用于对应不同发光单元的蒸镀需求,工艺配置更加高效、成本更加节约;

  • 叠加 CIE 集成技术,得益于 ViP 的独立像素封装结构,以往在 FMM 工艺中因可靠性问题难以落地的 CIE 技术,在 ViP 平台上可以稳定实现,进而提升视角、色域和功耗表现;

  • 叠加UDIR 等感知集成技术,ViP技术依托光刻工艺,精简非显示区域金属线路及冗余膜层结构,在制作TFT图形及隔离柱过程中连带移除透明区冗余材料,显著提升透光率,从而为屏下摄像和生物识别提供更多的透光空间。

同时,ViP减少了FMM在尺寸扩展中的物理约束,小到智能手表的显示屏,大到 IT 面板和车载座舱屏,ViP 都能在同一生产线上覆盖,不需要为不同尺寸重新开发掩模版,为OLED进入多尺寸、多形态的创新终端提供了更具扩展性的制造路径。

工艺的变化,也带来了设备需求的变化。提到光刻,很多人会联想到芯片制造的高端设备 ——ViP 需要半导体级的曝光机吗?蒸镀设备又会有什么不同?

下一期,【ViP官方解答】之设备篇,我们接着聊。

责编: 爱集微
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