近期，国内半导体质量控制设备领域企业中科飞测（688361）华中研发生产基地项目落户光谷，选址武汉未来科技城，该项目核心研发方向为明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备。
明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备是半导体前道制程质量控制的核心设备，技术门槛高，长期被科磊等国外厂商垄断。中科飞测是国内少数能够提供该领域高端检测设备的企业之一。公开信息显示，华中基地规划建设明、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备相关产线，面向国内存储芯片与逻辑芯片头部客户，项目具体产能规模尚未对外披露。
中科飞测成立于2014年，是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司于2023年5月在科创板上市，是国内半导体量检测设备领域首家科创板上市公司。此前，中科飞测已于2025年在上海浦东张江成立第二总部，投资超10亿元打造研发与产业化基地。
光谷是国内四大集成电路产业基地之一，已聚集一批半导体产业链上下游企业。此次中科飞测华中研发生产基地落户光谷，将进一步完善该区域在半导体质量控制设备环节的产业配套。
（校对/黄仁贵）
