9月15日，道达智能公众号披露，公司成功中标迄今最大面积双层洁净室及千级至一级最高洁净等级整厂AMHS订单。该项目包含整厂OHT天车、Stocker存储设备、OHB等核心设备，应用于千级至一级最高洁净等级洁净室环境。这是国产AMHS供应商首次在超2万平方米双层洁净室跨楼层整厂项目中实现从0到1的突破。
AMHS即自动化物料搬运系统，是半导体晶圆厂的核心物流基础设施，负责晶圆在各制程设备间的自动传输与存储。在半导体AMHS领域，国际一流日商凭借20年经验积累和产品打磨，长期垄断大规模量产FAB。大规模量产FAB不仅产量高，洁净室面积也大，甚至多FAB通过管桥连通形成GIGA-FAB。高产量、大洁净室面积、跨FAB，是国产AMHS供应商需要不断突破的方向。
此次中标项目在规模和技术两个维度实现突破。规模上，项目覆盖超2万平方米双层洁净室，并涉及跨楼层搬运，对系统调度能力与设备协同提出更高要求。技术等级上，该项目应用于千级至一级最高洁净等级洁净室环境，国产供应商首次在一级洁净室中给出自研磁驱天车AMHS解决方案。磁驱天车相比传统传动方式，在洁净度控制、运行精度与维护便捷性方面具备差异化优势。
此次中标意味着国产AMHS供应商首次在超2万平方米双层洁净室跨楼层整厂项目上完成验证，是向更大规模洁净室面积和跨FAB应用迈出的阶段性突破。随着国内晶圆厂扩产及对供应链自主可控的要求提升，国产AMHS供应商正加速进入高端场景。
（校对/李正操）
