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年产百套12英寸晶圆快速退火炉,泰兴先进半导体开工

作者: 施旭颖 2019-12-09
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来源:爱集微 #泰兴# #开工#
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(文/小如)12月4日,泰兴市举行第四季度重大项目集中开工仪式,共有27个亿元以上项目集中开工,计划总投资164.9亿元。

图片来源:泰州发布

其中,开工项目包括先进半导体高端装备项目、菱苏集成电路及半导体用超纯助剂项目等。

据悉,先进半导体高端装备项目总投资3亿美元,总建筑面积4.8万平方米,采用国际领先的12英寸晶圆产线关键装备去胶机和快速退火炉关键生产技术,建设2条高端装备生产线。项目建成后,可形成年产100台(套)12英寸晶圆快速退火炉设备和100台(套)去胶机高端设备的生产能力。年可形成销售收入4亿美元,税收3200万元。

菱苏集成电路及半导体用超纯助剂项目总投资1.5亿美元,总建筑面积3万平方米,主要新建车间、仓库、办公楼等建筑物,购置氢化反应器、催化剂进料器等设备692台(套)。项目建成后,可形成年产7万吨集成电路及半导体用超纯助剂、1.9万吨集成电路清洗剂及剥离液等的生产能力。(校对/小北)

责编: 赵碧莹
来源:爱集微 #泰兴# #开工#
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