近日，中芯集成在接受机构调研时表示，公司的BAW滤波器工艺和产品已经进入批量生产状态，性能可以对标国外主流厂商。特别用于5G的滤波器产品，已经在客户终端验证阶段。

MEMS方面，中芯集成称，三季度开始手机和物联网需求都重回升势，相关产品线产量饱满，还在持续扩大领先优势中。其中高性能MEMS麦克风产品已完成国际头部终端的严苛认证，实现大规模量产。同时，公司在MEMS车载惯性导航和激光雷达上取得明显进展，开始稳定上量，加快市场渗透，成为国内这一赛道的领先者。

目前，中芯集成的SiC业务发展迅速，客户和市场开发也正在加速拓展。截至9月，中芯集成的SiC MOS月出货达到了4000片6英寸晶圆，其中90%用于车载主驱逆变器。最新一代高性能SiC MOS已经发布并送样，性能达到全球先进水平。

产能方面，中芯集成披露，8英寸硅基月产能17万片；SiC MOS、12英寸产线处于产量爬升过程中，其中SiC MOS单月产量已从6月的2000片/月爬升到9月的4000片/月以上。随着产品研发以及产能的不断释放，SiC MOS产线、12英寸产线、以及模组封装产线，对公司接下来营业收入的贡献将持续不断提升。

（校对/黄仁贵）