天眼查显示,华海顷刻股份有限公司 “一种晶圆清洗方法”专利公布,申请公布日为2024年2月23日,申请公布号为CN117594486A。
本发明公开了一种晶圆清洗方法,用于晶圆清洗的后处理装置包括箱体、设置于箱体的夹持机构和端部配置有刷头的摆臂,所述刷头能够随摆臂移动以清洁夹持机构固持的晶圆;其特征在于,包括:将晶圆固持于夹持机构;调整摆臂的位姿,使得刷头的移动轨迹与刷洗晶圆的形变相匹配;刷头随摆臂移动并按照设定刷洗力清洁晶圆。
天眼查显示,华海顷刻股份有限公司 “一种晶圆清洗方法”专利公布,申请公布日为2024年2月23日,申请公布号为CN117594486A。
本发明公开了一种晶圆清洗方法,用于晶圆清洗的后处理装置包括箱体、设置于箱体的夹持机构和端部配置有刷头的摆臂,所述刷头能够随摆臂移动以清洁夹持机构固持的晶圆;其特征在于,包括:将晶圆固持于夹持机构;调整摆臂的位姿,使得刷头的移动轨迹与刷洗晶圆的形变相匹配;刷头随摆臂移动并按照设定刷洗力清洁晶圆。
*此内容为集微网原创,著作权归集微网所有,爱集微,爱原创
培育行业“中坚力量”,国产AI芯片“产教融合”又有新动作
23分钟前
芯片巨头本周秘密大裁员,数千老人受影响;未来AI人才建设如何深度布局?这家AI芯片公司给答案;集微网对话《赤热》主演黄晓明
23分钟前
【错失】输给AMD,消息称英特尔错失300亿美元索尼PS6芯片设计合同;三星计划在年底前重组半导体代工部门
23分钟前
【发放】日本将发放超1亿日元补助金,与欧洲大学合作培养芯片及AI人才;韩国加快HBM供应链开发;
24分钟前
【个股价值观】士兰微:碳化硅器件加速迭代,增收不增利局面延续;睿创微纳:公司实控人、董事长马宏解除留置
24分钟前
【选择】商务部部长王文涛:中欧汽车产业走到重要十字路口开放合作是最佳选择;传蔚来将收购奥迪比利时工厂;
24分钟前
PDF 加载中...