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和远气体一专利获认证,可将CO2杂质脱除至0.1ppm以下

作者: 日新 01-15 17:16
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来源:爱集微 #和远气体#
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1月15日,和远气体发布公告称,近日,公司取得了1项发明专利,专利名称为“一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺”,专利号为ZL202111321362.7。

公告显示,该发明专利是一种以工业产品气体为原料,采用高分子渗透膜、金属阳离子交换树脂、稀土金属化合物脱水与高压精馏的结合,可将组分中CO2杂质脱除至0.1ppm以下、金属离子含量脱除至10ppt以下;所述制备工艺摆脱了现有技术对原料的依赖,在生产超高纯氯化氢气体的同时产生多种品质的氯化氢气体,尾气减少的同时易于处理,适用于工业化推广。

和远气体表示,此项发明专利的取得,不会对公司的生产经营和经营业绩产生重大影响,但有利于公司在电子特气领域的技术储备与技术提升,对公司在电子特气领域进一步发展提供技术支持。

(校对/黄仁贵)

责编: 黄仁贵
来源:爱集微 #和远气体#
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