天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法”专利公布，申请公布日为2024年12月31日，申请公布号为CN119230470A。
本申请公开了一种升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法，涉及半导体领域。一种升降针装置，包括：用于升降晶圆的顶针组件，以及输气组件；所述顶针组件具有气道，所述气道的第一端用于与晶圆接触，所述气道的第二端与所述输气组件的输气端连接，所述输气组件用于向所述气道充气和/或自所述气道抽气。本申请至少能够解决晶圆随意移动或者与三针之间出现黏连等问题。
