北方华创“上电极装置及半导体工艺设备”专利公布

作者：爱集微 02-14 14:49

来源：爱集微 #北方华创#

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天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“上电极装置及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2024年12月31日，申请公布号为CN119230366A。

本发明公开了一种上电极装置及半导体工艺设备，上电极装置包括：进气结构，贯穿腔室盖板设置，并与腔室盖板活动密封连接，用于向工艺腔内通入工艺气体；第一调节机构，包括至少一个第一位移导向组件，第一位移导向组件与进气结构的位于腔室本体外的一端连接，用于在进气结构沿第一水平方向移动时对进气结构进行导向；第二调节机构，包括至少一个第二位移导向组件，第二位移导向组件与进气结构的位于腔室本体外的一端连接，用于在进气结构沿第二水平方向移动时对进气结构进行导向，其中，第一水平方向与第二水平方向相交。本发明可提高上电极进气结构与晶圆之间同轴度调节的可控性和便利性。