半导体前道电子束量检测设备行业解决方案领军企业矽视科技成功完成A轮数亿元融资。此轮融资由俱成投资、毅达资本、国发创投、相城金控等机构联合投资，老股东持续追加投资，山云资本则担任本轮的独家财务顾问。
近日，半导体前道电子束量检测设备行业解决方案领军企业矽视科技成功完成A轮数亿元融资。在目前的资本环境下本轮融资仍有众多知名投资机构积极参与，表明资本市场对于该赛道以及矽视团队的高度认可。
矽视科技成立于2021年，由全球知名电子束领域技术专家引领，多位海归博士共同创立。公司专注于国内半导体前道设备中极为关键且面临 “卡脖子” 问题的领域，即电子束量检测技术在前道晶圆量检测方面的应用。目前，公司的首台CDSEM设备已在 Fab 厂上线使用一年多，承接产能超过50余万片，顺利通过各阶段量产及压力测试，已经开始批量对外销售。同时，针对国内6/8寸（含三代半）客户的升级版 CDSEM已完成产品定型，正处于密集的验证测试阶段，预计将成为 2025 年市场销售的主力产品。此外，满足高端制程需求的12寸CDSEM和电子束缺陷检测设备（EBI）已集成完毕，不久将会推向市场。
电子束量检测设备融合了精密光机电控制与图像处理软件算法，属于高精尖设备，不仅技术门槛高、资金投入大，研发周期长，而且相关专业人才稀缺。矽视科技仅用两年半的时间就完成了产品集成与交付，在国内尚无其他公司能够达到这一水平，充分展现出其团队卓越的研发能力与强大的系统整合能力。矽视科技秉持开拓、创新、实干、共赢的创业理念，立志不断突破，勇攀科技高峰，致力于解决国产化电子束量检测设备的 “卡脖子” 难题，为推动我国半导体产业的发展贡献力量。
l 以CDSEM作为市场切入，以EBI引领公司技术高度，以DRSEM及其他功能升级产品作为公司长期增长第三曲线，矽视以技术和产品为导向，稳步向前。
电子束量检测设备主要分为测量线宽的CDSEM，进行复检的DRSEM以及进行缺陷检测的EBI设备三种类型。其中，CDSEM用量最大，EBI技术难度最高，单价最贵。从金额维度统计，三种设备基本各占市场的1/3。
矽视科技团队拥有电子束中最难的设备—EBI的开发和应用背景，有过两次成功落地EBI产品的经验。公司从12寸CDSEM产品开始创业之路，主要有两个因素:一是核心团队掌握最复杂的电子束成像技术及整机设计能力，二是CDSEM在国内短期内有极强的需求。
公司创立之后快速推出12寸CDSEM产品平台，并且构建模块化软硬件平台，向下兼容8寸平台，同时23年也开始构建6/8兼容平台。
目前，公司已经有多台8寸设备送客户端上线测试验证，其中有设备已经开始在量产线投产使用；12寸设备平台也正已迭代升级完成并进行内测中，近期会送客户端验证并逐步实现量产交付；EBI产品平台也已经搭建完成，正在做最后的优化工作，预计近期也会推出产品并送国内头部Fab测试验证；同时，公司的DRSEM和高能系列产品也在按照计划稳步推进中。
l 矽视创始团队在电子光学、机械平台、运动控制领域深耕技术15-20年，核心成员均来自全球头部设备公司，核心技术团队配置齐全，有多次成功开发相关产品的经历
矽视科技的创始人拥有电子束领域深厚的理论背景及多年开发应用背景经验。 核心技术团队涵盖了从电子光学、运动控制、控制软件和算法领域的资深人士。该团队曾在全球头部企业实现电子束产品在该领域的顶尖应用，并取得巨大成就。公司核心团队成员也是该领域国家02专项的核心力量和带头人，已经实现该产品在国内的成果落地和国产化的量产应用。
公司结合团队自身特点，同时博众家之所长，取长补短，推出了易于研发和量产的平台化技术架构。通过构建通用平台，公司实现了多产品的快速研发和迭代，使通用技术可以复用和借鉴。
本次融资完成后，矽视科技将扩充团队，扩充技术开发人员规模，提升工程化和规模制造能力；同时，公司也将系统提升市场营销能力以及内部运营管理能力。
公司将以电子束全系列产品作为公司的定位之锚，以满足国内先进制程电子束量检测设备需求为目标，持续投入，未来也将以技术和产品的综合优势开拓全球市场，为全球半导体产业提供助力。
l 投资人观点
——俱成投资
半导体量检测设备一直是俱成重点布局的领域，而电子束量检测设备技术门槛高，国产化进程落后，虽然有不少团队已经开启0-1的阶段，但是产品差距与国外头部厂商差距较大，而国产化是必然趋势，我们看中矽视核心团队以往的背景和成功经验，期望公司继续加大投入，早日在该领域推出成熟稳定的产品，推进电子束量检测设备国产化进程。
——毅达资本
电子束技术是一项复杂的应用技术，虽然已经存在几十年的时间，但是其应用目前仍旧有极大的挖掘空间，短期内看半导体量检测设备是其重要并且成熟的应用方向，随着国内半导体制造能力逐步发展，提升芯片的综合制造能力是国内半导体行业发展的核心之一，除了工艺设备，制程控制设备也是制约因素之一，电子束作为半导体量测领域的“卡脖子”关键技术，我们将持续关注。
——苏创投·国发创投
量检测设备贯穿芯片制造的工艺过程，以实现对重要环节的良率监控。在芯片产线总投资额中，量检测设备所占比例为12%左右，全球市场几乎被国外头部公司垄断，国产化率仅为3%。矽视科技，作为省市级重点双创团队，在半导体电子束量检测领域拥有丰富的产业经验和全面的团队能力。其产品进展显著，成绩斐然。我们坚定看好矽视科技在该领域的有效供给和国产化探索，相信他们将在推动中国半导体产业发展方面发挥重要作用。
——相城金控
矽视科技所处的半导体量检测设备领域，有着极高的技术门槛。其设备涵盖多领域专业知识，面对的应用场景需求复杂且标准严苛。我们看中了矽视科技卓越的团队、先进的技术，以及在产品研发进程上的领先优势。我们对国内半导体设备行业国产化的发展趋势满怀信心。身为老股东，我们会始终秉持长期关心与支持矽视科技发展的态度。此次融资，我们再次追加投资，期望以自身的参与为契机，积极促进区内企业协同发展，助力该领域早日实现关键突破，达成全面的市场化应用，为推动整个半导体产业的蓬勃发展贡献力量。
