据天眼查显示，近日，中微半导体设备（四川）有限公司成立，法定代表人为尹志尧，注册资本1亿人民币，由中微公司全资持股。该公司经营范围包含半导体设备领域，涵盖半导体器件专用设备制造、半导体器件专用设备销售、电子专用设备销售、电子专用设备制造、半导体照明器件制造、电子元器件制造等。

早在今年1月16日，中微公司便宣布拟在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目。其称，该项目的实施将有助于公司扩展集成电路设备业务范围，增强研发能力和扩大产能，巩固公司在高端半导体设备领域的优势地位。

据披露，中微公司将在2025年至2030年期间投资约30.5亿元，用于该公司在成都市高新区建设研发中心、生产制造基地、办公用房及附属配套设施，配备先进的自动化生产线和高精度检测设备，满足量产需求。此外，该公司将积极推动公司上下游供应链企业落户成都高新区，推动形成半导体高端装备产业链集群。

2月21日，中微公司与成都高新区签订合作协议，将在成都高新区落地研发及生产基地暨西南总部项目，总投资额约30.5亿元。此次签约，中微公司将在成都高新区设立全资子公司——中微半导体设备（四川）有限公司，专注于高端逻辑及存储芯片相关设备的研发和生产，涵盖化学气相沉积设备、原子层沉积设备及其他关键设备。

中微公司表示，该项目计划于2025年启动建设，2027年正式投入生产。预计到2030年，中微半导体设备（成都）有限公司的年销售额将达到10亿元，助力区域性半导体产业链的升级。