2025慕尼黑上海光博会即将开启,知常光电本次展会将在E7号馆(展位:E7.7428)检测与质量控制区展示创新成果。诚邀广大客户朋友及代理商莅临,期待与您现场深入交流,共探合作新机遇!
产品推介
1、透镜外观缺陷检测设备
多光谱智能透镜外观检测仪(AOSI-4000S):用于各类光学元件、光学晶体、光学陶瓷的全自动表面质量检测。设备自动化程度高,批量上料,自动送检,智能检测,根据检测结果智能分拣,并生成统计日志。检测结果可根据需求进行保存,保证检测结果可溯源性。
半自动智能透镜外观检测仪(OSI-4000S):用于光学透镜的外观质量检测,具有整盘上下料、自动检测、标准选择或自定义、自动判断OK/NG、结果输出等功能。设备配备特殊设计的光学检测系统,针对透镜元件复杂多变的面型和镀膜工艺,高灵敏度的检出包括划痕、麻点在内的各类外观缺陷,相比人工具备可靠的稳定性和可重复性。
2、半导体晶圆缺陷检测设备
碳化硅缺陷检测设备(NOVA-2000):用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测,针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法,对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等各类缺陷进行检出和提取分类,对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。
铌(钽)
酸锂缺陷检测设备(NOVA-2000-LN/LT):用于铌酸锂、钽酸锂等衬底晶圆的缺陷检测设备,可兼容黑化、半黑化、全透明等不同工艺类型,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、边、裂纹等缺陷,对晶圆的质量控制具有重要作用。设备集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各顶缺咯数据,生成品圆缺陷检测报告,供用户进行质量评估和判定。
玻璃晶圆缺陷检测设备(NOVA-2000-G):用于透明或半透明玻璃晶圆衬底的缺略检测设备,可检出颗粒物、划痕、凹坑、凸起、崩边、裂纹等缺陷,对透明晶圆的质量控制具有重要作用。设备集成明场、暗场等多种检测模式,对各类缺陷提供可靠的缺信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。
图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000):主要用于半导体制造的前道检测,对图形晶圆的宏观缺陷,如划痕颗粒脏污、腐蚀、图形结构缺陷等进行检测,对集成电路芯片的性能和可靠性保证有重要作用。设备集成明场、暗场等多种检测模式,对图形晶圆各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告供用户进行质量评估和判定。
3、弱吸收测量设备
光学吸收测量仪(标准版):是一种基于激光诱导效应的光学检测设备。可以对光学薄膜、光学晶体、激光晶体、各类石英等材料进行吸收缺陷测量和吸收均匀性分布测量。
分为材料表面吸收和体内吸收测量。
PTS-2000适用于各类光学薄膜和光学元器件表面吸收率的检测和分析。根据客户具体需求,可进行紫外、可见或者近红外波段的精密测量。
PTB-2000适用于各类光学元器件及材料体内吸收率的检测和分析。可以测量吸收均匀性分布、吸收缺陷、掺杂浓度等。对于光学材料质量生产指导具有重要作用。典型的应用对象为:光学薄膜、光学玻璃、晶体材料、光学陶瓷、半导体晶圆。
光学吸收测量仪(简化版):专为薄膜、晶体、熔石英玻璃等光学材料和元件设计用于表面和体吸收特性的精密测量分析。
典型应用对象:光学薄膜、光学玻璃、晶体材料、光学陶瓷、半导体晶圆。
激光量热吸收测量仪(LC-2000):是一种基于激光量热法测量光学元件弱吸收的光学检测设备。由泵浦激光对光学元件进行辐照加热,采用高精度温度探测器对激光辐照区域进行温度测量,从而获得光学元件对该波长下的激光的吸收信息。LC-2000适用于各类光学薄膜和光学元器件吸收率的检测和分析。根据客户具体需求,可进行紫外、可见或者近红外波段的精密测量。对于光学材料质量生产指导具有重要作用。
深紫外激光量热吸收测量仪(LC-DUV-2000):是一种基于激光量热法针对半导体行业中使用的深紫外光源研发的光学检测设备。由深紫外激光对光学元件进行辐照加热,采用高精度温度探测器对激光辐照区域进行温度测量,从而获得光学元件对该波长下的激光的吸收信息。LC-DUV-2000适用于低吸收的光学薄膜和光学元器件的吸收率检测和分析。典型泵浦激光波长为193nm,波长可根据客户具体需求定制,进行深紫外波段的精密测量。对于光学材料质量生产指导具有重要作用。典型应用对象为:光学薄膜、光学玻璃、晶体材料。
深紫外光学吸收测量仪(PTS-DUV-2000/PTB-DUV-2000):是一款基于激光诱导光热检测技术,专为深紫外波段光学材料和元件吸收特性检测分析而开发的高灵敏度精密光学测试仪器。
PTS-DUV-2000适用于各类深紫外波段光学薄膜和光学材料表面吸收特性的检测和分析,包括表面吸收率测量、表面吸收均匀性分布测试、吸收缺陷检测分析、激光辐照下的吸收稳定性监测等。
PTB-DUV-2000适用于各类深紫外波段光学元器件及材料体内吸收特性的检测和分析,包括材料体吸收系数测量、体内吸收均匀性分布测试、体吸收缺陷检测分析等。典型的应用对象为:光学薄膜、光学玻璃、晶体材料、光学陶瓷、半导体晶圆。
4、激光共聚焦显微镜
激光共聚焦显微镜(LCM-2000):具备光学显微成像与激光共聚焦成像双重检测模式,主要用于各类材料的表面形貌与表面缺陷的三维检测分析。