合肥欣奕华“一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置”专利公布

作者：爱集微 06-04 17:44

来源：爱集微 #合肥欣奕华#

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天眼查显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司“一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置”专利公布，申请公布日为2025年3月14日，申请公布号为CN119615066A。

本发明公开了一种基于改善膜厚均一性的线性蒸镀装置，包括基板、基板传送导轨、挡板、点源和均匀改善机构，从上到下依次设置基板、基板传送导轨、挡板和点源，基板滑动设置于基板传送导轨上，挡板设置于基板传送导轨下方，均匀改善机构设置于挡板和点源之间并固定于挡板上；均匀改善机构包括移动组件和固定于移动组件上的异形块；移动组件可滑动设置于挡板上，异形块靠近点源设置；该线性蒸镀装置可以根据膜厚分布设计安装不同异形块，调节膜厚分布，改善大尺寸膜厚均一性，提高产品品质。