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芯密科技“一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用”专利获授权

作者: 爱集微 05-31 21:44
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来源:爱集微 #芯密科技#
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天眼查显示,上海芯密科技股份有限公司近日取得一项名为“一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用”的专利,授权公告号为CN117777941B,授权公告日为2025年3月14日,申请日为2023年11月22日。

本发明涉及半导体材料技术领域,特别是涉及一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用。所述密封胶的主要原料为有机硅,还可以包括改性的纳米二氧化硅、其他填料。本发明操作工艺方便,适用范围广,只要厚度小于2mm的任意形状的缝隙均适用。同时该密封胶的抗腐蚀性更加优异,降低了静电吸盘的维护成本,同时延长其使用寿命。

责编: 爱集微
来源:爱集微 #芯密科技#
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