2026年10月29日，中国科学院半导体研究所就电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备采购项目（第二次）发布成交公告，本次项目成交总金额为97.7万元。
本次项目成交供应商为宁波聚膜新材料科技有限公司，该项目采用综合评分法评审，成交供应商综合得分为93.83分，代理服务收费标准参照竞争性磋商文件执行，代理费总金额为1.4655万元，公告期限为公告发布之日起1个工作日。
本次采购的标的为1套电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备，品牌为JMTech，型号为JM-oCVD3P200，对应单价为977000元。
