(文/林美炳)6月2日,以“聚焦应用,集智创芯”为主题的集微通用芯片行业应用峰会在厦门举行。镭昱光电科技(苏州)有限公司创始人兼CEO庄永漳博士在峰会上发表主题演讲,庄博士提出,随着单片集成全彩Micro LED微显示技术快速成熟,将极大地推动AR行业的快速发展。
单片集成优势明显 Micro LED将成AR重要的显示技术
根据LED间距的大小,LED可分为常规的LED、Mini LED以及Micro LED。常规的LED间距超过1mm,LED芯片尺寸比较大,拥有足够的亮度,能够满足照明、超大尺寸显示屏的需求。Mini LED间距在50-100微米之间,主要用于小间距LED大屏以及液晶显示背光模组,能够使液晶显示的亮度、对比度更高。Micro LED间距小于10微米,正朝着超大屏以及微型显示屏两个方向快速突破。
要提及的一个背景是,在Micro-LED领域,存在着两条技术路线,一是通过巨量转移技术达到超高像素、超高解析度的显示,但此技术并不适用于微显示。第二条路线是采用半导体技术的单片集成,在CMOS驱动晶圆上通过微显示器件的设计及工艺,使得像素点尺寸更小、像素间距更小,更适合实现高分辨率、高像素密度的Micro LED微型显示器。
单片集成Micro LED微型显示器将给AR眼镜带来全新的可能。过去,LCoS、Micro OLED的亮度都无法满足光波导镜片的需求,但Micro LED微型显示器兼具高分辨率、高像素密度、高亮度、低功耗等优势,是光波导镜片最佳的搭配。庄博士表示,单片集成Micro LED微型显示器将是AR眼镜最重要的核心显示技术。
导入量子点色转换方案 重构全彩单片集成Micro LED
单片集成Micro LED跟随着LED芯片结构的发展而不断演进。传统单片集成Micro LED采用倒装键合方式,可以将Micro LED与背板分别制作,但是存在对准精度要求高、键合尺寸受限、键合良率低、光串扰严重等问题,无法实现超微像素尺寸,不适用于需要超高像素密度的AR眼镜等应用场景。
庄博士介绍,镭昱采用大尺寸晶圆级键合技术,将8英寸LED外延片与8英寸CMOS驱动晶圆键合,键合过程中无需对准。外延发光层整面转移到CMOS驱动晶圆后,基于CMOS驱动电路的标记,完成蓝光Micro-LED的像素阵列定义。除了解决传统倒装技术的对准难、良率低等瓶颈问题外,还可以避免蓝宝石衬底Micro-LED与硅基CMOS高温键合时的应力、裂伤、电路失效等问题。再配合光刻式量子点工艺(QDPR),通过标准的光刻工艺实现了适配GaN蓝光Micro-LED的高分辨率、高光效的量子点颜色转换膜层,通过蓝光激发红绿量子点,从而实现芯片全彩化。此外,通过独有的光学隔离结构,有效降低RGB颜色光串扰,进而实现了更高对比度和色彩饱和度。同时,凭借光刻式量子点技术,可以有效解决原生红光的光效及亮度问题,使全彩芯片整体亮度产生质的提升。
目前,镭昱自研的光刻式量子点工艺在效率、精度、量产性方面远高于量子点打印等方案;相较于三色合光的全彩方案,除了明显的小型化优势外,镭昱单片全彩方案更具成本优势及量产性。
庄博士指出,Micro LED显示屏已经不能够用过往的LED显示屏的思维去生产,它更像CMOS工艺,需要更高精度的设备、更好的洁净环境以及更大尺寸的晶圆去流片。现有的8英寸晶圆键合技术可实现高良率量产,技术的不断迭代使我们能在未来实现更大尺寸的工艺以降低成本,符合未来消费级AR眼镜的需求。
镭昱之所以能够快速实现Micro-LED技术突破,源于强大的团队实力和深厚的技术积累。据了解,镭昱核心团队源于香港科技大学电子系,拥有17年以上的尖端光芯片设计与制造经验。团队于2019年发布了全球首款单片式全彩QD Micro-LED微显示芯片,率先在全彩Micro-LED微显示技术领域实现突破;2022年10月,镭昱成功点亮0.39英寸单片全彩Micro-LED微显示芯片;2023年5月又推出全球最小尺寸(0.11英寸)Micro LED以及0.22英寸Micro LED全彩微显示器。
镭昱最新的单片全彩Micro-LED微显示屏实现3.5微米超小像素间距,像素密度高达7200PPI,全彩亮度超10万尼特,色域覆盖率达到133.0% sRGB,94.2% NTSC,98.1% DCI-P3,色深24 bits,对比度高于2,000,000:1,最高帧率360Hz,在画面色彩、清晰度及流畅度方面都具备极佳表现。其不足火柴头大小的物理尺寸,在实现高亮度全彩显示的同时,可大幅助力AR眼镜实现性能、重量、外形及成本间的完美平衡,为AR内容生态及应用场景提供更多想象空间。
庄博士表示,10万尼特的显示亮度只是镭昱技术的开端,持续的制程迭代将进一步推升亮度和色彩水平,以更好地满足AR眼镜的需求。