9月27日，思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目封顶活动在青岛自贸片区·青岛市集成电路产业园举行。
半导体先进装备研发制造中心项目，由思锐智能和青岛城投集团联合建设，是2024年度山东省重大项目、青岛市重点项目。项目总占地约95亩，总建筑面积约8.6万平方米，规划建设原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）等高端装备整机制造产线，项目投资超12亿元。本项目得到了青岛自贸片区·中德生态园、青岛城投集团的大力支持，2024年4月底取得施工许可手续，到9月底正式封顶，仅用时5个月。项目建成后，思锐智能将以此为依托，建设面向全球的研发和生产制造基地，加快“ALD+IMP”双核心半导体装备产业的发展。
据悉，青岛四方思锐智能技术有限公司成立于2018年，总部位于中国青岛，并在北京、上海设有研发中心。思锐智能主要聚焦关键半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，提供具有自主可控的核心关键技术的系统装备产品和技术服务方案。该公司产品包括原子层沉积（ALD）设备及离子注入（IMP）设备，广泛应用于集成电路、第三代半导体、新能源、光学、零部件镀膜等诸多高精尖领域。（校对/杨晨曦）
