紫光同芯“一种SGT器件及其制备方法”专利公布

作者：爱集微 02-14 06:21

来源：爱集微 #紫光同芯#

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天眼查显示，紫光同芯微电子有限公司“一种SGT器件及其制备方法”专利公布，申请公布日为2024年12月31日，申请公布号为CN119230411A。

本发明公开了一种SGT器件及其制备方法，制备方法包括：在衬底上形成外延层；外延层包括相对设置的第一表面和第二表面；第一表面为第二表面远离衬底的表面，外延层包括体区，体区远离衬底的表面与第一表面为同一平面；在第一表面形成至少一个第一沟槽；第一沟槽由第一表面延伸至外延层内；在第一沟槽的侧壁形成保护层；在每一第一沟槽内形成第二沟槽；第二沟槽由第一沟槽的底部延伸至外延层内，每一第一沟槽对应一个第二沟槽；沿第一方向，第二沟槽的宽度大于第一沟槽的宽度，第一方向垂直于衬底指向外延层的方向；在第二沟槽内形成第一栅极结构；去除保护层；在第一沟槽内形成第二栅极结构。本发明可以优化器件的雪崩特性，提高器件的承压能力。