3月12日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布，截至2025年2月底，其等离子体刻蚀设备反应台全球累计出货量突破5000台，其中CCP设备装机量超4000台，近四年年均增长37%，ICP设备装机量超1000台，同期年均增速达100%。目前设备已进入全球130余条芯片生产线，覆盖5纳米及更先进制程。

资料显示，2024年度中微公司实现营业收入90.65亿元，同比增幅达44.73%，连续13年保持35%以上年均增速。核心业务刻蚀设备收入72.77亿元，同比增长54.73%，近四年年均增长率超50%。研发投入持续加码，年内推进6类设备、超20款新机型的开发，LPCVD设备获4.76亿元批量订单，新产品研发周期缩短至两年以内。

业绩增长的同时，企业运营效率同步提升，2024年人均销售额突破400万元，较2022年提升14%。中微公司同步推进薄膜沉积、量测设备等新业务布局，MOCVD设备在全球氮化镓基LED市场保持领先地位。根据发展规划，中微将持续聚焦先进制程设备研发，深化三维立体发展战略。

（校对/黄仁贵）