2025 SEMICON如约而至！ASML将携“最长寿”的光刻平台，与“光之源头”继续亮相。

时间：2025年3月26日–3月28日

地点：上海市新国际博览中心

N5馆·N5026与N5022展台

Highlight 01「 邂逅ASML最长寿光刻系统 」

PAS 5500脱胎于飞利浦研究人员在20世纪70年代研制的一个系统，它的全称是飞利浦自动步进式光刻机（Philips Automatic Stepper, PAS）。自1991年首台PAS 5500问世以来，伴随半导体制造工艺共同经历三十多年的发展，每台PAS系统都有一段独特的故事。

其中，拥有29年历史的PAS 5500/275系统，在内存和射频（RF）模块的生产线上奉献多年后，在翻新、转售，在虚拟现实的聚焦热潮中重焕新生。

虽然，TWINSCAN成为目前大规模半导体制造的首选平台，将摩尔定律推向新的高度。但是PAS 5500/275和其它许多PAS 5500系统的故事印证了这一平台对半导体行业的重要性。低成本、小尺寸、简单易用的特点使翻新后的PAS 5500成为各种小众细分应用的首选方案。作为ASML历史最悠久的产品，PAS 5500仍活跃在芯片制造的舞台。

无论是经过翻新组件还是回收核心，PAS 5500系统中有90%以上仍在被使用。在确保买家和卖家的利益之外，最大限度地减少了对新材料的需求以及废物量，实现了半导体行业的“绿色经济”。

3月26日-3月28日，想要进一步了解这台最长寿光刻系统的故事？

“芯”动就要行动，N5馆·N5026展台，我们不见不散！

Highlight 02「 探索DUV光刻系统光源奥秘 」

Cymer成立于1986年，作为半导体行业激光与光刻光源技术的领先者在2013年被ASML收购，进一步提升了ASML光刻系统的制造能力。在中国，Cymer已深耕二十五载，并将持续强化对客户的支持举措，全力协助客户提升生产效能。

欢迎前往N5馆·N5022展位探索DUV光源的奥秘，与Cymer一同庆祝周年纪念吧！

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