天眼查显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司“真空机械手及半导体工艺设备”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119526459A。

本公开提供了一种真空机械手及半导体工艺设备，涉及半导体制造技术领域。真空机械手包括：石英手指，具有相对的吸附端和安装端，吸附端设置有真空吸附口；石英手指还设置有第一气道，第一气道与真空吸附口连通；安装臂，设置有第一安装孔；石英手指的安装端插设于第一安装孔中；安装臂还设置有至少两个调整孔，调整孔的轴向与第一安装孔的轴向垂直，调整孔与第一安装孔连通设置；安装臂还设置有第二气道，第二气道与第一气道连通设置；调整件，分别与调整孔配合；调整件用于与石英手指的表面相抵；夹持组件，夹持组件与安装臂连接，夹持组件用于与石英手指背离调整件的表面相抵。