天眼查显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司“一种闪耀光栅的制造方法”专利公布，申请公布日为2025年3月7日，申请公布号为CN119575529A。

本申请提供一种闪耀光栅的制造方法，方法包括：提供衬底，衬底上覆盖有周期排布的掩膜，利用入射角度和旋转角度，以掩膜为掩蔽，利用离子束刻蚀衬底，形成闪耀光栅。入射角度为离子束在衬底的法线所在平面的第一投影和衬底的法线之间的角度，旋转角度为离子束在衬底的表面所在平面的第二投影和衬底的表面的切线之间的角度，闪耀光栅的反闪耀角根据入射角度和旋转角度确定。这样通过利用入射角度和旋转角度可以降低掩膜的遮蔽效应，从而达到控制反闪耀角的角度的目的，实现反闪耀角角度的可控，从而通过控制入射角度和旋转角度增大反闪耀角的角度，最终提高闪耀光栅的衍射效率。