复旦大学先进光刻胶材料教育部工程研究中心揭牌

2025年4月23日上午，来自学术界、产业界的二十几名专家学者齐聚复旦大学，共同见证“复旦大学先进光刻胶材料教育部工程研究中心”正式揭牌成立。该中心的成立是复旦大学服务国家重大战略需求、推动产学研深度融合的重要举措，旨在攻克高端光刻胶材料的“卡脖子”技术难题，助力我国集成电路产业迈向全球价值链高端。复旦大学副校长姜育刚出席中心成立仪式并致辞，复旦大学微电子学院院长张卫主持成立仪式。

聚焦国家战略需求，打造自主创新高地

姜育刚副校长在致辞中表示，光刻胶作为芯片制造的核心材料，其技术水平直接决定了集成电路的制造工艺精度和产业竞争力。他强调，复旦大学整合校内集成电路、化学、高分子、材料等多学科优势力量，成立这一研究中心，是学校在“教育强国打头阵，自主创新当尖兵”使命下的重要实践。希望中心聚焦光刻胶材料“从实验室到生产线”的工程化难题，加速国产高端光刻胶的自主可控进程，为国内芯片制造企业提供稳定可靠的工艺技术与材料研究支撑。

产学研协同创新，凝聚行业顶尖力量

仪式上，复旦大学研究生院副院长梅永丰宣读了第一届技术委员会名单，复旦大学人事处处长熊易寒为委员颁发聘书。上海华力集成电路制造有限公司周文湛担任委员会主任，苏州润邦半导体马晓明博士、浙江新盈电子方书农博士担任副主任，十余位行业领军专家担任委员。

随后，姜育刚副校长与科研院基地建设与成果管理处处长张峰、微电子学院党委书记罗凌、微电子学院院长张卫、中心主任伍强、技术委员会主任周文湛共同为研究中心揭牌，标志着这一重要平台的正式启动。

专题研讨共谋发展，前沿洞见引领未来

揭牌仪式后，专题发言环节由中心主任伍强教授主持。来自上海华力、苏州润邦、腾讯量子实验室、张江国家实验室等单位的十位专家围绕光刻胶材料研发、计算光刻技术、产业链协同等主题展开深入研讨。

技术委员会主任、上海华力集成电路制造有限公司周文湛先生指出，光刻胶国产化需学术界与产业界深度协作，以模块化研发与优化思路，结合计算光刻、量子化学、人工智能（AI）等技术手段，实现先进节点光刻技术升级。

腾讯量子实验室研究员马星宇分享了AI在计算光刻与光刻胶建模中的应用前景；浙江新盈电子董事长方书农博士、苏州润邦半导体董事长马晓明博士分别阐述了国产光刻胶树脂材料对产业链自主可控的赋能作用；徐州博康首席科学家冉瑞成博士提出建立材料配方的系统性模型与数据库，建立知识产权的科学管理机制，以加快上下游的高效合作；合光光掩模科技首席技术官岳力挽与市场战略部经理胡华勇先生分析了光掩模与光刻胶材料的发展趋势；张江国家实验室朱慧娥研究员剖析了国外光刻胶产业的发展历程及国内研发面临的挑战；上海集成电路制造创新中心阎江博士解读了基于物理模型的光学邻近效应修正（OPC）匹配光刻胶技术路线。

最后，工程中心主任伍强教授在总结中提出“设计-基础设施协同优化（DICO）”技术总路线，并分享了关键研究案例。他表示，中心将秉持“开放协同”理念，联合产学研力量推动技术转化，为中国集成电路产业高质量发展注入新动能。

与会专家们还提议增加光刻材料、工艺等相关专业的人才培养，并就后续合作展开了热烈讨论。

承载使命，迈向新征程

恰逢复旦大学建校120周年，先进光刻胶材料教育部工程研究中心的成立，不仅是学校推进“新工科”建设的重要举措，更是国家集成电路产业自主创新的重要探索。此次大会的圆满举办，为高端光刻胶材料的国产化之路开启了全新篇章。未来，中心将依托复旦大学的多学科优势，汇聚产学研智慧，加速技术攻关与成果转化，助力我国在全球半导体产业链中占据更重要的地位。