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中科飞测“检测设备和检测方法”专利获授权

作者: 爱集微 05-16 15:44
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来源:爱集微 #中科飞测#
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天眼查显示,深圳中科飞测科技股份有限公司近日取得一项名为“检测设备和检测方法”的专利,授权公告号为CN114234835B,授权公告日为2025年3月14日,申请日为2020年9月9日。

本发明实施例提供一种检测设备和检测方法,用于进行扫描检测,所述检测设备包括:照明光源,用于提供照明光;物镜,用于使所述照明光投射至检测面,还用于对检测面成像,所述物镜的光轴在所述检测面的投影为检测点;聚焦装置,用于在所述检测面上确定测量点,所述测量点相对于所述检测点沿扫描方向具有一偏移量;还用于根据测量点对应的检测面位置,调整物镜进行聚焦;探测装置,用于探测物镜收集的所述照明光。本发明实施例能优化聚焦性能,提高成像质量。

责编: 爱集微
来源:爱集微 #中科飞测#
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