晶盛机电近日在接受调研时表示，近日，子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研发的电池片设备成功出口海外客户。此次晶盛光子出口海外的产品包括PECVD、LPCVD和管式低压磷扩散炉三款最新设备。

其中，PECVD设备独特的细丝炉体设计，使效率分布更加收敛；LPCVD设备腔内热场分布更加均匀，Poly-Si沉积膜厚均匀性超业内水平；管式低压磷扩散炉创新应用了法兰独立水冷等设计，进一步改善了热管理和气流控制能力。

这三款电池片设备此次出口海外，将在很大程度推动高效电池技术扩产，更好满足全球不断增加的清洁能源需求。

据悉，晶盛机电当前在关键设备方面，已经布局了全自动晶体生长设备、晶体晶片加工设备、晶片分选检测设备等，并主要面向光伏领域和半导体领域客户。在材料业务方面，公司布局碳化硅衬底、蓝宝石等，并进军金刚线、石英坩埚等核心耗材。