1.机构：中国领跑下一代半导体基础研究，产出论文量为美国两倍多
2.【两会建言】雷军的两会建议，聚焦汽车、AI领域
3.人大会议发言人点赞DeepSeek，代表一批中国公司在AI领域崛起
4.投资120亿元，武汉先导稀材项目预计3月全面封顶、年底投产
5.我国AI人才缺口达500万人，人工智能专业在校生仅约4万人
6.盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证
1.机构：中国领跑下一代半导体基础研究，产出论文量为美国两倍多
美国机构分析，认为中国在支持下一代计算机的基础研究方面处于领先地位。如果这些研究商业化，有人担心美国为保持其在半导体设计和生产方面的优势而实施的出口管制可能会失效。
乔治城大学新兴技术观察站（ETO）研究小组3月3日公布了他们的研究结果，分析2018年至2023年全球发表的半导体设计和制造相关论文。研究小组将范围扩大到包括新的半导体架构（设计方法）以及现有的计算机芯片和人工智能（AI）优化的图形处理单元（GPU），利用AI机器学习算法分析了研究趋势。
包括中国研究人员的论文数量为160852篇，是美国（71688篇）的两倍多。紧随其后的是印度（39709篇）、日本（34401篇）和韩国（28345篇）。值得注意的是，2018年至2023年，中国半导体相关论文的增幅达41%，远高于印度（26%）、美国（17%）和韩国（6%）。
中国不仅在论文数量上表现突出，在研究影响力方面也同样突出。在被引用次数最多的前10%论文中，中国研究人员撰写的论文数量达23520篇，占总数的近一半。其次是美国（10300篇）、韩国（3920篇）、德国（2716篇）和印度（2706篇）。
此外，2018年至2023年，半导体研究最多的前10家机构中，有9家是中国研究机构。乔治城大学ETO研究团队指出，“本次分析仅关注了472,819篇附有英文摘要的论文，如果加上中文论文，中国研究人员的比例可能更高。”
ETO高级分析师Zachary Arnold在国际期刊《自然》上预测，考虑到中国正在开展的活跃研究，“中国的技术和制造能力最终将显著提高。”
韩国国内也出现了认为韩国半导体技术落后于中国的分析。韩国科学技术评估规划院（KISTEP）2月发布的报告显示，对39名国内专家的调查显示，韩国的基本半导体技术能力在所有领域都被评估为低于中国。
报告指出，以技术领先国标准（100%）为基准，韩国的高密度电阻式存储器技术（90.9%）和高性能低功耗AI半导体技术（84.1%）均低于中国（分别为94.1%、88.3%）。功率半导体（韩国为67.5%、中国为79.8%）和下一代高性能传感技术（韩国为81.3%、中国为83.9%）也证实存在差距。
ETO研究团队分析称，神经形态计算和光学计算等新领域是中国半导体研究的重点增长领域。神经形态计算模仿人类神经细胞（神经元），可以提高AI的运行效率。光学计算用光而不是电子来传输信息，比现有的半导体技术更快、更节能。由于这些技术需要与目前的半导体制造不同的方法，即使美国对特定设备和技术实施出口管制，中国也极有可能走出自己的道路。
乔治城大学ETO分析师Jacob Feldgoise表示：“中国重点研究的技术大多避开美国垄断的现有制造技术，因此一旦商业化，美国将很难实施管制。”他补充说：“如果中国成功将下一代半导体技术商业化，它将不只是赶上美国，甚至可能超越它。”
2.【两会建言】雷军的两会建议，聚焦汽车、AI领域
3月4日，小米官微透露雷军2025两会建议，包括关于加快推进自动驾驶量产的建议，关于发展智能网联新能源汽车产业生态的建议，关于加快推进人工智能终端产业高质量发展的建议，关于优化新能源汽车号牌设计的建议，关于加强“Al换脸拟声”违法侵权重灾区治理的建议。
关于加快推进自动驾驶量产的建议
汽车产业已经迈入智能化的高级阶段，智能驾驶（含辅助驾驶L1和L2级别、自动驾驶L3和L4级别）成为汽车工业的必争高地。近年来，美国、德国和日本等国为搭载L3级自动驾驶汽车发放型式批准、制定相关法律法规，积极支持量产应用。我国有关部门完善自动驾驶支持政策、优化发展环境，先后出台《新能源汽车产业发展规划（2021一2035年）》《智能汽车创新发展战略》等政策举措。目前，L3级自动驾驶正在开展上路通行试点，L4级自动驾驶在数十个城市进行示范应用，自动驾驶汽车量产已初具条件。
自动驾驶功能量产应用将为汽车产业发展带来巨大动能，根据相关机构预测，2025年销售的新车中60%的车辆将是L2级辅助驾驶及以上智能驾驶汽车，2030年自动驾驶技术将带来万亿美元的新增量，2040年70%的汽车都将搭载自动驾驶功能。虽然我国智能网联汽车关键技术研发处于全球并跑阶段，但是在自动驾驶功能量产应用方面还存在一些问题，包括测试试点时空范围开放力度不足、量产预期时间不明确、缺乏专属保险、安全宣传不足、法律法规不完善等，使得产业界难以进行清晰的产品规划和推广应用。
建议：
一、推进自动驾驶汽车大范围测试验证，加快量产商用进程。加快推进自动驾驶汽车全国性测试验证，力争2025年建立跨区域、跨省份、一体化的便捷互认机制，建立自动驾驶汽车在全国上路的统一管理流程和机制。在确保安全的前提下，给予自动驾驶汽车全国性测试验证的绿色通道，推动自动驾驶技术快速成熟应用。尽快明确自动驾驶汽车的量产时间预期，进一步扩大准入和上路通行试点力度，支持更多企业和车型试点验证，力争2026年可支持高速快速路自动驾驶、城市自动驾驶等功能的量产应用，加快推动自动驾驶汽车量产上市，为用户提供更加优质的用车体验。
二、推动设立自动驾驶专属保险，加强安全使用宣传。鼓励保险企业与自动驾驶汽车企业合作，共同进行自动驾驶汽车保险产品创新。结合自动驾驶汽车特点，争取2026年前完成设立自动驾驶汽车专属保险，包括交强险、商业险、三责险等，降低自动驾驶汽车推广门槛，维护驾驶人、乘客和行人的权益。
持续加强自动驾驶汽车和自动驾驶系统安全使用的宣传教育，严格规范智能驾驶、自动驾驶、无人驾驶、完全自动驾驶等用词和适用场景，避免夸大宣传、不当宣传和不良引导，确保用户正确合理使用各类自动驾驶系统，保障民众出行安全。
三、加快出台自动驾驶相关法律法规，明确合法上路身份。加快建设自动驾驶全国性法律体系，出台允许自动驾驶汽车量产上路的法律文件，明确自动驾驶系统的合法上路身份；出台自动驾驶上路通行实施细则、自动驾驶事故处理、自动驾驶责任认定等配套法规。
加快建设国家层面的自动驾驶统一标准体系，明确自动驾驶准入技术标准和安全要求，为自动驾驶汽车量产提供清晰的技术准则。结合自动驾驶系统的客观需求，制定和出台针对自动驾驶系统升级、网络与数据安全等的管理政策，降低产业发展成本。
关于发展智能网联新能源汽车产业生态的建议
中国汽车工业协会数据显示，2024年我国新能源汽车持续增长，产销量首次突破1000万辆，连续10年位居全球第一。预计2025年新能源汽车市场销量将达1600万辆，同比增长24.4%。相比用了近10年时间实现年产销量破百万辆，我国新能源汽车年产销量从百万辆到千万辆仅用了约6年时间，新的突破标志着我国新能源汽车迎来高质量发展的新阶段。
汽车产业电动化、智能化、网联化正在加速融合，智能网联新能源汽车作为移动智能空间，用户使用时间将大大增加，产业向消费电子产业生态快速融合，这个过程离不开丰富的产业生态支持。充电桩、车载硬件、辅助智能终端等方面仍存在较大的发展空间，如充电桩建设需持续优化布局，汽车生态设备接口不统一等。为降低重复建设，发挥规模效应，推动智能网联新能源汽车产业生态繁荣发展，保持行业竞争优势。
建议：
一、推动充电设施互联互通。公开调查信息显示，充电已超越续航成为影响消费者购买新能源汽车的首要因素，提升充电体验对新能源汽车行业发展至关重要。因此建议有关部门出台政策建立统一平台，推动车企和桩企之间的数据共享与互联互通，用户能在统一平台获得可用充电桩的信息，避免闲置或低效使用。同时制定统一的超充设备技术标准、通信协议，优先推进新投建、核心商圈以及高速公路等稀缺资源地段存量的大功率快充桩互联互通。
二、开展车载硬件技术协议标准化建设。汽车作为重要的智能移动空间，用户对车内驾乘体验的要求日益提高，尤其对车内空气环境、影音娱乐、交互沟通等场景体验更加重视，但配套产品较为匮乏，不同品牌分别定义，缺乏统一标准。建议有关部门组织行业共同制定汽车车载硬件和终端设备的接口标准、软件通讯协议规范，提升生态开发者开发和创新的积极性，增强同类型产品在不同品牌和车型的适配度。
三、鼓励车企开放智能生态。日常生活正以前所未有的速度迎来智能化趋势，出行、家居、办公等更是主流智能场景，并有望融为一体。建议国家引导汽车行业借鉴智能家居模式，推进行业内外共同制定车联网的有关技术和标准，实现多场景智能终端产品互联互通，促进用户在车内外智能体验流畅切换，实现汽车产业生态的高质量发展，助力推进社会数字化、网络化的持续普及。
关于加快推进人工智能终端产业高质量发展的建议
人工智能是引领新一轮科技革命和产业变革的战略性力量。人工智能终端作为新一代人工智能的重要载体，正在加速从智能手机、智能汽车、可穿戴设备向智能家居设备、机器人等多元领域拓展，掀起消费电子产业新的创新浪潮。大力发展人工智能终端不仅是拉动消费需求、激活市场活力的重要引擎，也是推动智能终端产业链高端化、智能化升级的核心动能，更是抢抓人工智能落地应用新赛道、塑造国际竞争新优势的战略导向。
当前，人工智能终端处于快速发展的起步阶段，行业内的产品在功能性能、外在形态、技术先进性等方面差异较大，也存在技术创新瓶颈、产业协同不足等问题，亟待通过政策引导与支持加以解决。为更好地推动人工智能终端产业规范发展、协同发展、创新发展和高质量发展，进一步巩固增强我国智能终端及消费电子产业竞争优势。
建议：
一、健全人工智能终端标准体系，引导产业良性发展。人工智能终端步入创新发展快车道，但行业内在产品形态、范畴界定、智能功能与性能等方面未达成共识，相关标准体系尚未完善，不同品牌、不同类型、不同产品之间的用户体验参差不齐，一定程度上影响了消费者对人工智能终端的整体认知，也阻碍了行业健康长远发展。
建议尽快完善人工智能终端标准体系，编制以用户体验为导向的智能化分级等系列标准，研究制定人工智能终端产品认定方法，强化国际国内标准有效衔接。力争2027年内初步建成人工智能终端标准体系，2030年率先形成全球领先的人工智能终端标准体系。积极推进行业内人工智能终端优秀产品、典型案例遴选，树立行业标杆，助力企业创新发展。
二、强化人工智能终端产业协作，构建应用协同生态。人工智能终端应用生态处于起步建设阶段，不同创新主体之间存在技术对接困难、数据共享不畅等状况，导致开发周期延长，成本增长。此外，跨平台、跨应用之间的兼容性欠佳，制约终端智能化服务能力的释放，造成功能体验的碎片化与不流畅，影响用户使用满意度。
建议强化产业链有序协作，由行业组织牵头，联合终端厂商、应用厂商、大模型厂商等，加快构建统一的终端设备与智能应用之间的接口规范与数据格式。搭建行业合作平台，推进终端智能体与第三方智能应用的深度协同，力争到2030年前形成2至3类相对统一、国际领先的智能终端操作系统平台，促进百亿级终端应用的跨界无缝互通，建成开放共赢的人工智能终端创新大生态。推进硬件创新和软件创新同步发展，打造软硬均衡的终端能力。
三、加大人工智能终端支持力度，推进产业创新发展。人工智能终端作为新兴事物，技术革新快，应用场景丰富，产业规模大，处于国际竞争的前沿领域，只有加快培育，构建有效的政策“组合拳”，才能疏通卡点堵点，破除产业发展壁垒。
建议中央和地方部门加大对人工智能终端领域研发与应用专项的支持。加快推进以大模型为代表的人工智能技术与智能终端技术融合创新，推动端侧计算（高算力芯片、高端内存等），端云协同(基座大模型、垂类大模型、多Agent协作、端云模型协同等），多模态交互（Al操作系统、智能体架构等)关键技术攻关和产业转化。支持终端龙头企业参与重大项目的谋划实施，发挥龙头引领和产业链带动优势，形成高质量低成本发展优势。设立专项科研基金，鼓励高校、科研院所加大对前沿技术投入和人才培育。出台人工智能终端品类的消费补贴政策，激活市场需求，塑造规模优势，推动产业可持续发展。力争到2030年，建成具有全球一流竞争力的智能终端产业生态。
关于优化新能源汽车号牌设计的建议
根据消费者洞察与市场研究机构君迪发布的《2024中国新能源汽车产品魅力指数研究》，在外观造型的偏好选择上，购买了个性车身颜色的车主中有26%将颜色视为最喜欢的方面，这一比例远高于购买传统车身颜色的车主，反映出个性颜色更加受到用户青睐。
新能源汽车的号牌设计一直是社会关注的重点，针对现行的绿色号牌消费者各执己见，有观点认为某种程度上制约了汽车产品的设计效果，需要进行一定程度的调整。为持续跟进消费者对汽车消费的趋势变化，更好地保障用户体验。
建议：
一、重启号牌式样调研论证。现在使用的新能源汽车号牌自试点距今已有近八年多时间，这段时间内，我国新能源汽车整体设计水平明显提升，车辆外观颜色多元化已经成为一种趋势。绿色的号牌与车体颜色的兼容性较差，不利于产品外观设计实现更高突破，建议有关部门能够启动新能源汽车号牌式样的调研论证，公开征求意见建议。
二、拓展号牌智能化功能。2024年，我国新能源汽车年产销量首次突破1000万辆，带动智能座舱、智能驾驶等一系列相关产业发展，将中国“智”造推向了新高度。继续坚持智能化、网联化发展方向，是我国新能源汽车产业的必然选择。建议在新能源汽车号牌功能设计上进行智能化尝试，将车辆交通信息卡功能内置到号牌中，外观增加二维码信息查询功能，方便交通管理和应急事项处置。
三、做好试点探索工作。号牌试点在政策实施、产业发展、社会认知等多方面具有重要作用，建议选择汽车产业发展领先、市场需求旺盛的城市开展新能源汽车新号牌的试点工作。试点期间设置用户反馈渠道，及时收集用户对新式样号牌试点工作的意见建议，将合理的反馈纳入试点工作的调整和改进中。
关于加强“Al换脸拟声”违法侵权重灾区治理的建议
近年来，在政策引导、技术突破和产业应用的多重驱动下，我国人工智能发展成就斐然，不断提质加速，已经深入到人民群众生活的各个方面。其中，人工智能（Al)深度合成技术的快速发展，推动了“Al换脸拟声”在影视、广告、社交等领域广泛兴起，成为社会喜闻乐见、传播力强、易成热点的技术应用。
但同时也看到，“Al换脸拟声”不当滥用造成了违法侵权行为的重灾区，易引发侵犯肖像权、侵犯公民个人信息以及诈骗等犯罪行为，甚至造成难以挽回的大规模形象和声誉损害，带来社会治理等风险。Al深度合成技术所需素材获取便利、技术使用门槛低、侵权主体及其手段隐蔽性强等特点，给治理带来较大挑战。
建议：
一、加快单行法立法进程，在安全与发展并重的基础上提升立法位阶。《互联网信息服务深度合成管理规定》、《生成式人工智能服务管理暂行办法》等法律法规已颁布实施，《人工智能生成合成内容标识办法(征求意见稿)》完成社会意见征集，对人工智能立法进行了有益探索。但目前“Al换脸拟声”的有关规定，尚存在效力位阶偏低、内容偏原则且分散、多个部门职责交叉或职权定位有待明晰等不足，导致现阶段针对“AI换脸拟声”造成的侵害，只能依靠基础法律中关于隐私权、肖像权、名誉权等的零散法条来规制。
建议针对“Al换脸拟声”等某一代表性问题，探索推出人工智能单行法，提高立法位阶及其效力，分级分类的基础上进行务实治理，明确“Al换脸拟声”应用边界红线，完善侵权证据规则，加大对利用人工智能技术实施犯罪行为的刑事处罚力度。与时俱进探索新议题的细化监管措施，凝聚人工智能伦理规范共识。
二、强化行业自律共治，压实平台企业等各方的责任和义务。人工智能生成合成全链条涉及软件服务方、内容制作者、网络平台、传播用户，以及金融服务商、电信运营商等角色，都是治理责任传导链的重要主体。考虑到涉及的相关方多、区域分布广散，通过技术和法律手段并重、监督管理和自律自治两手抓，以及加强跨区域、跨部门的协调联动，有助于实现“事前预防、事中阻断、事后打击”的治理效果最大化。
建议支持平台企业开发可精准识别人工智能深度合成内容的技术能力，创新直接有效的治理工具供给；加大人力物力投入，优化升级通信软件和内容平台巡查审核机制、投诉举报机制、应急处理机制，确保及时阻断问题内容传播；鼓励通过行业自律公约、先进治理平台奖励表彰、拓展跨境合作机制等举措，培育行业自治动力和共治价值，推动形成可复制推广的有益经验。
三、加大普法宣传的广度力度，增强民众的警惕性和鉴别力。人工智能生成合成内容实现安全规范的生产、应用、传播，需要公众建立起相应法律意识，共同携手筑牢安全防线。当前，青少年对前沿技术应用好奇心强，老年人数字素养欠缺，往往会成为“Al换脸拟声”网络陷阱锁定的主要目标，对其身心健康、财产安全以及社会稳定造成负面影响。
建议加强人工智能方面的法制宣传教育，引导公众对“Al换脸拟声”的侵权内容通过正规渠道进行举报；加强公众对个人人脸、声音、指纹等生物信息的保护，避免给犯罪分子提供便利素材。在社交媒体、短视频平台等“AI换脸拟声”侵权行为的多发地，以用户能广泛接触、乐于接受的方式开展“破绽识别”技巧宣传，提升用户多渠道辨别内容真实性的数字素养。聚焦重点人群，在中小学人工智能教材中加入伦理规范内容，针对老年群体开展相关知识普及活动，在全社会夯实“以人为本、智能向善”的人工智能发展生态。
3.人大会议发言人点赞DeepSeek，代表一批中国公司在AI领域崛起
3月4日，十四届全国人大三次会议在人民大会堂举行新闻发布会，大会发言人娄勤俭就大会议程和人大工作相关问题回答中外记者提问。
在回答人工智能发展相关问题时，娄勤俭表示，DeepSeek公司取得的重大进展，代表着一批中国公司在人工智能领域的崛起，由中青年组成的主创团队正在挑起中国科技事业进步的大梁，值得点赞。
DeepSeek公司坚持开放开源的技术路线，开源共享推动了人工智能技术在全球的普遍应用，为世界贡献了“中国智慧”，通过DeepSeek这类公司的兴起，我们可以看到中国在科技发展上的创新性和包容性。
世界丰富多彩，技术进步也不只有一条路径，可以关注一下移动通信技术从3G到6G的演进历程，以及通信企业的兴衰。比如，塞班系统曾经是手机操作系统的霸主，但由于采取封闭开发模式等原因走向了衰弱。
再比如，安卓系统和ARM技术通过开源和开放协作，遵循科技发展规律、顺应科技发展潮流，赢得了市场认可。以DeepSeek公司为代表的中国科技企业不断实现技术突破，以及上述实例充分说明，坚持创新、开放共享、增进人民福祉才是正确选择。
人工智能大幅提升了人类认识世界和改造世界的能力，是新一轮科技革命和产业变革的重要驱动力量，也必然会对生产关系产生影响。不可否认，人工智能技术的发展也伴随一系列难以预知的风险挑战，在安全、社会治理、道德伦理等方面带来众多新课题。中国政府高度重视人工智能技术的发展和风险防范。
中国依法保护数据隐私和安全，同时反对泛化“国家安全”概念，反对将经贸科技问题政治化，中方提出《全球人工智能治理倡议》，推动弥合科技鸿沟，避免科技创新成为“富国和富人的游戏”。中方愿同世界各国一道，继续为推动人工智能健康发展、促进世界经济增长、增进各国人民福祉而努力。
4.投资120亿元，武汉先导稀材项目预计3月全面封顶、年底投产
据中国光谷消息，武汉东湖综保区先导稀材项目，作为填补光谷半导体上游材料空白的“关键拼图”，这座计划投资120亿元的产业“巨无霸”正以肉眼可见的速度快速生长。该项目涵盖生产车间、研发中心、办公楼及配套设施，除了1号、4号厂房还在冲刺施工，其他主体建筑1月就已封顶，并预计3月中旬可实现全部封顶，年底前完成设备安装并交付投产。
（先导稀材项目效果图，来源：中国光谷）
先导稀材项目于2024年3月签约落户，同年7月底实质开工。2025年1月15日，先导稀材高端化合物半导体材料及芯片产业化基地项目主楼封顶，建设进度再刷新。
先导科技集团有限公司是全球稀散金属龙头企业。2024年3月，投资120亿元建设高端化合物半导体材料及芯片产业化基地项目落户光谷。该项目投产后，将有力填补光谷光通信及激光产业所需半导体衬底、外延材料的空白。
据湖北日报报道，当前国产光通信、射频芯片正处于上升期，武汉及周边相关生态集聚度高，对砷化镓、磷化铟等化合物半导体材料需求极大，而先导科技是全球最大稀散金属生产企业，砷化镓衬底材料出货量全球第一。先导稀材项目投产后，将年产高端化合物半导体衬底材料数十万片，可补足本地芯片产业链的上游短板，并有望助力武汉企业尽早抢占市场优势，带动周边产业链共享发展先机。
5.我国AI人才缺口达500万人，人工智能专业在校生仅约4万人
面对目前人工智能技术发展带来的就业市场变化，不少职场人、准职场人也在为提升自己下功夫。无论是职业教育学校，还是高等院校，都在加速发力更新相关的教学内容和教学模式。
北京邮电大学未来学院通过建立横跨电子、通信、计算机、网络安全四个学科的教学体系，结合AI技术应用，着重培养学生运用AI技术、解决跨学科难题的能力。业内人士提出，随着AI赋能千行百业，既需要技术和理论创新型人才，也需要能够结合各行业实际需求的实操型人才。
专家表示，2024年，人工智能整个专业的在校生大概是4万多人，跟整个人工智能领域的人才缺口500万人相比，差距依然很大。（来源： 央视财经）
6.盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证
盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前道和先进封装应用提供晶圆工艺解决方案的卓越供应商，于今日宣布其单晶圆中/高温硫酸过氧化混合物（SPM）设备已成功通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。
截止目前，该设备已交付了13家客户。该系统采用盛美上海全新的专有喷嘴设计以消除SPM工艺中的酸雾飞溅问题，有助于提高颗粒控制能力并减少腔体的清洗维护频率，从而延长设备的正常运行时间（uptime）。该系统能够应对28纳米及以下节点前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与清洗工艺。
盛美上海董事长王晖博士表示：“作为盛美上海持续创新的典范，单晶圆中/高温SPM设备可有效解决客户在大批量300毫米半导体制造方面所遇到的挑战。我们已然看到该设备在全球范围内获得广泛认可。单晶圆中/高温SPM设备在在晶圆清洗设备市场中的所占份额不断增长，尤其是单晶圆高温SPM设备，下一代半导体器件生产中扮演至关重要的角色。”
盛美上海的单晶圆中/高温SPM设备能够应对前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与清洗工艺，包括中低温硫酸90℃清洗处理工艺、高温硫酸170℃光刻胶（PR）去除工艺，以及超高温硫酸190℃金属剥离工艺。随着半导体工艺节点的不断推进，对单片高温硫酸工艺的需求显著增长。这一趋势对颗粒管控、腔室氛围管理以及硫酸温度稳定性提出了更为严格的要求。盛美上海在单晶圆中/高温SPM设备中引入了创新设计，为满足更加严苛的需求做好了充分准备。
该设备集成的盛美上海专利技术包括：
多级加热方式 — 可确保最高混合温度达到230℃以上并实现稳定控制。
专有SPM喷嘴设计 — 可防止SPM飞溅到腔体以外，以显著提升颗粒控制能力，使得26纳米尺度下的平均颗粒数控制在10颗以内。
单晶圆中/高温SPM设备腔体配备化学内联混合（CIM）系统，可支持各种化学品的配置。该腔体还可与盛美上海的专利空间交变相位移（SAPS）和时序能激气穴震荡（TEBO）超声波技术搭配使用，以提升晶圆清洗效果。
盛美上海单晶圆中/高温SPM设备功能和规格
盛美上海单晶圆中/高温SPM设备适用于多种湿蚀刻和单面或双面清洗工艺，并支持多种化学品和清洗工艺。相较于大多数后清洗和光刻胶湿法工艺，该设备在去除有机缺陷的同时，能够显著减少薄膜的损失。该设备主要用于处理150毫米至300毫米晶圆，配备四个装载端口、8至12个腔体、一个多功能化学品分配系统以及腔体自清洗功能。（来源： 盛美上海）
