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奕斯伟“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布

作者: 爱集微 04-03 07:24
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来源:爱集微 #奕斯伟#
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天眼查显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布,申请公布日为2025年2月28日,申请公布号为CN119526256A。

本公开实施例公开了一种抛光垫的表面监测装置及方法,抛光垫的表面监测装置可以包括图像采集机构和控制器,图像采集机构通过支撑组件固定于抛光头上,用于在CMP过程中实时采集抛光垫的表面图像。表面图像被传送至控制器,控制器利用图像识别技术对采集到的图像进行分析,以确定抛光垫的表面状态。

责编: 赵碧莹
来源:爱集微 #奕斯伟#
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